扩散炉
最大挑战。在海目星之前，硼扩散工艺采用的是硼扩散炉，根据资料显示。硼原子半径0.082nm，磷原子半径为0.110nm，硅原子半径为0.118nm，硼与硅原子差异较大，扩散过程中产生晶格张力，固溶度较低
主流制备技术。将高纯的石英砂原料倒入坩埚模具内，通过成型装置将石英砂原料均匀的成型在模具的内表面以成型坩埚坯，然后将坩埚模具整体移入电弧熔制炉内，通过石墨电极释放高温电弧使石英砂熔化，最后快速冷却形成
外层砂份额约50%，中内层砂份额约8%。石英坩埚行业发展连续多次投料拉晶工艺提升带动长寿石英坩埚需求。近年来，为了提高直拉单晶硅的质量和产量，连续加料、多次加料等一炉多根直拉单晶硅生长技术被开发和应用
钢纤维制造（十七）通用设备制造业143.高档数控机床及关键零部件制造：五轴联动数控机床、数控坐标镗铣加工中心、数控坐标磨床144.大型（装炉量1吨以上）多功能可控气氛热处理设备、程控化学热处理设备、程控
多功能真空热处理设备及装炉量500公斤以上真空热处理设备、全纤维炉衬热处理加热炉制造145.报废汽车拆解、破碎及后处理分选设备制造146.FTL柔性生产线制造147.高端精密工具制造、纳米复合涂层及高端
，大力推进“清炉”行动，全县餐饮业清洁能源普及率达到90%以上。实现城区集中供热8万平方米，淘汰“黄标车”163辆。碧水保卫战全面推进。深入贯彻实施《汉江流域水污染防治条例》，以河（湖）长制为引领，全面
重点行业向环境容量充足、扩散条件较好区域优化布局。强化农产品主产区耕地保护，加强农业面源、畜禽养殖污染治理和农村环境整治，保障农产品安全。强化重点生态功能区生态保护和修复，禁止或限制大规模高强度的
、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、丝网印刷机、其他炉设备、测试仪和分选机等。电池板/组件生产设备：全套生产线、测试设备、玻璃清洗设备、结线/焊接设备、层压设备等薄膜电池板生产设备：非晶硅电池、铜铟镓二硒电池
设备：硅棒硅块硅锭生产设备、全套生产线、铸锭炉、坩埚、生长炉、电池生产设备、蚀刻设备、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、印刷机、测试仪和分选机 、电池板/组件生产设备光热发电系统: 槽式集热系统、塔式集热系统
PERC产线，增加隧穿氧化层和掺杂多晶硅层，主要有LP制备多晶硅膜+扩散、LP制备多晶硅膜+离子注入、PE制备多晶硅膜+原位掺杂三种方式HJT：全新产线但工艺流程简洁，增加本征非晶硅钝化层和异质结
，IBC要高电阻率和少子寿命。拉晶：石英坩埚&碳碳热场纯度要求提升，单炉耗量增加。切片：金刚线继续向细线化方向发展，或有钨丝替代钢丝的技术变革。③组件：焊接：设备：单面焊接，或采用新的串焊机。材料：IBC
，这种设备允许对硅片进行高速加工以及旋转丝网印刷作业，而不使用当前太阳电池金属化使用的平板筛分标准工艺。研究人员还尝试改善堆叠扩散和氧化状况。太阳电池需要不同的掺杂部分，研究人员将扩散过程和硅片热氧化
结合成为一个步骤，这意味着硅片不再单独放置，而是彼此堆叠在一起，在炉中进行处理，这令产能提升了2.4
倍。接下来，研究人员希望打造更快的铸锭炉工艺。在标准炉工艺中，硅太阳电池在两侧形成，这需要大量
水蒸气)，进而保证工艺的长期稳定性;松煜ALD采用特殊叠层钝化处理工艺，大大提高了TOPCon、IBC电池的钝化效果，且单、双面镀膜切换自由。图片UPTIME低是硼扩散的致命问题，而松煜的硼扩散设备
采取了炉口密封使用特殊材料特殊结构设计，实现了uptime可达98%。松煜热式炉原创特有的竖插方式，确保了设备的大产能以及在超高温超薄硅片上的弯曲度、掉片和碎片率优势;POLY方面，LPCVD石英管
、坩埚、生长炉、电池生产设备、蚀刻设备、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、印刷机、测试仪和分选机 、电池板/组件生产设备光热发电系统: 槽式集热系统、塔式集热系统、碟式发电系统、菲涅尔集热系统、斯特林
