扩散炉
内出现了变化，中国国内设备供应商收获的结烧炉(扩散和结火)、PECVD和湿刻蚀等工艺的设备订单也出现上涨。 但是，当各家公司开始追求太阳能电池效率的极限，或是在应用先进太阳能电池理念时，中国国内
硅锭生产设备：全套生产线、铸锭炉、坩埚、生长炉、其它相关设备; 硅片晶圆生产设备：全套生产线、切割设备、清洗设备、检测设备、其它相关设备; 电池生产设备：生产线、蚀刻设备、扩散炉、覆膜设备/沉积炉
检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、管式PECVD、单晶炉、多晶铸锭炉、层压机、检测设备等已有不同程度的出口。未来，大尺寸、自动化、高产能等高档设备市场广阔，与大半导体的结合将
支出额。Aurora公司的Decima CD测量系统可被用在高温扩散炉工艺后对硅片进行迅速测量，从而保证太阳能电池发射极在生产过程中保证硅片与硅片间的稳定重复性。
，2010年时部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等开始少量出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种（扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉）已在国内生产线占据主导地位
如扩散炉、等离子刻蚀机等开始少量出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，2种(管式
产品如扩散炉、等离子刻蚀机等开始少量出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种（扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉）已在国内生产线占据主导地位，2种（管式
设备 硅片晶圆生产设备： 全套生产线、切割设备、清洗设备、检测设备、其他相关设备 电池生产设备： 全套生产线、蚀刻设备、清洗设备、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、丝网印刷 机、其他炉设备、测试仪和分选
硅材料生产、硅片加工到太阳能电池芯片的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，已经初步具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉等开始批量出口。组件生产用的层压机、太阳能模拟器
(全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式PECVD)完全依赖进口外，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等已开始少量出口。国内企业可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗
