原子

成本）等问题，因此PECVD、PEALD等技术路线有望“后来居上”。 | 聚焦ALD技术自2015年成立以来，微导纳米始终聚焦于原子层沉积（ALD）技术，并先后研发出ALD、PEALD二合一、PECVD等
是指在基底上沉积特定材料形成薄膜，使之具有光学、电学等方面的特殊性能。按照工艺原理不同，可分为物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）设备。在传统工艺中，由于存在厚度控制和

“787147”。招股说明书（注册稿）显示，微导纳米成立于2015年，实际控制人为王燕清、倪亚兰、 王磊。公司以原子层沉积（ALD）技术为核心，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售，向下
材料形成薄膜，使之具有光学、电学等方面的特殊性能，按工艺原理的不同可分为物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）设备。其中，ALD技术是一种特殊的真空薄膜沉积方法，具有较高的

径向会产生的生长条纹，其本质是杂质分布的不均匀，会影响电池外观。严重的同心圆现象是氧原子、自间隙缺陷和空位缺陷共同作用形成的环状分布，其出现的原因与CZ拉晶的特点与电池高温制程有明显相关性，不仅影响

最大挑战。在海目星之前，硼扩散工艺采用的是硼扩散炉，根据资料显示。硼原子半径0.082nm，磷原子半径为0.110nm，硅原子半径为0.118nm，硼与硅原子差异较大，扩散过程中产生晶格张力，固溶度较低

、电力装备、先进轨道交通装备、生物医药及高性能医疗装备、海洋工程装备及高技术船舶、节能与新能源汽车、高档数控机床及机器人、农机装备、节能环保领域用高性能轻金属及铜合金材料深加工，泡沫铝，原子能级海绵锆

应用；格点量子场论及计算；手征对称性的自发破缺和恢复研究；极端条件下QCD的对称性性质和相结构探索；奇特态和强子谱学；奇特核、奇异核、超重核以及宇宙中元素合成机制；原子核中的对称性及其破缺机制，深入
分子功能体系的精确构筑面向为发展变革性与战略性功能材料提供物质基础的重大需求，系统研究功能分子、团簇与分子聚集体等物质中原子、分子与基元间相互作用的协同与调控机制，厘清多层次结构与功能间的构效关系，重点

到衬底的薄膜颗粒脱离衬底，薄膜结构遭到损坏，产生大量空位、错位及吸附氧原子，薄膜宏观结构变得疏松。因此较高的氧氩比会导致IWO薄膜透光率降低。02、氧氩比对IWO薄膜方块电阻的影响如图3所示，随着氧氩
，电子迁移率降低，薄膜导电性能降低，方块电阻增大。大量的氧负离子还会产生机械力，造成已经生长到衬底的薄膜颗粒脱离衬底，产生大量位错和吸附氧原子。氧气继续增加而电阻又呈下降趋势是由于沉积薄膜的过程中保持功率