化学汽相沉积

机，硅片自动分选机等关键光伏生产设备。支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（PECVD）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能光伏电池片生产线设备和PECVD等薄膜太阳能光伏电池生产设备。促进光伏生产装备的低能耗、高效率、自动化和生产工艺一体化。

、低能耗、全自动单晶炉，吨级多晶硅铸锭炉，大尺寸、超薄硅片多线切割机，硅片自动分选机等关键生产设备。支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（PECVD）、激光刻蚀机、干法刻蚀机

纳米线和其它纳米材料制造中的应用之外，公司将继续寻求化学汽相沉积（CVD）解决方案的新应用。凭借公司的应用实验室，CVD Equipment将继续完善并拓展其解决方案所能应用的多个领域。航空、医疗

采用改良的西门子法工艺生产多晶硅。西门子法是被现有多晶硅生产商和许多行业新进入者广泛接纳和公认的技术。西门子工艺采用三氯氢硅最初原料，并通过化学气相沉积（ＣＶＤ）将其转化为多晶硅。江苏中能一方面采用了冷

。买一座十二寸半导体厂动辄30亿美元，设一座8.5代线的面板厂动辄千亿元新台币，买一座太阳能厂或进口LED的MOCVD（有机金属化学汽相沉积）机台，都可为台湾创造民间投资成长，贡献GDP产值。如今两兆产业转眼成空，台湾未来是不是要继续走这条路？值得政府当局三思。

。centrotherm photovoltaics的全资子公司FHR Anlagenbau将在此次展会上展示其专为CIGS和非晶硅薄膜太阳能电池设计的物理气相沉积和等离子体增强化学汽相沉积卷式生产设备。FHR称其部分客户

于这种以溶液为基础的工艺。没有很高的制造成本，这些成本涉及到气相外延化学气相沉积（gas-phase epitaxial chemical vapor deposition），分子束外延

整合为单个设备出售。centrothermphotovoltaics的全资子公司FHRAnlagenbau将在此次展会上展示其专为CIGS和非晶硅薄膜太阳能电池设计的物理气相沉积和等离子体增强化学汽相

、借助太阳能迈入现代社会创造基本条件。此外，台湾广运集团的新型硅片检测系统，可在很大程度上解决太阳能生产线易破片关键问题；芬兰倍耐克公司研发的可大幅度提高太阳能转化效率的先进化学汽相沉积和原子层沉积设备

旭硝子公司在大连市开发区的特种玻璃公司利用其化学汽相沉积出产线研制出产的TCO特种导电玻璃是薄膜太阳能电池的衬底材料，今年开始大批量投向市场。此举填补了大连市光伏电池材料领域的空缺，对于吸引薄膜太阳能