刻蚀

，针对非晶硅薄膜太阳电池生产的关键工艺技术进行研究攻关，现已开发出具有自主知识产权的电池板镀膜、激光刻蚀、超声波焊接等一系列生产工艺和装备且实现了产业化。他们生产出的硅基薄膜电池稳定转换效率达7%以上，达到国内领先水平。

、制绒、扩散、刻蚀、减反射膜制备、电极印刷、低温烘干、高温烧结、自动测试分捡等。经过数年的艰苦努力，我国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等开始少量
出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，2种(管式PECVD、快速烧结炉)和进口设备并存但份额在

明显发现“实际扩散良品率”和“实际刻蚀良品率”与“实际直通率”的斜率明显大于其他步骤的实际良品率，进一步用鼠标改动“实际扩散良品率”和“实际刻蚀良品率”的设置，导致“实际直通率”的改变幅度也是最大的
，由此可以直观地判断“扩散”和“刻蚀”的工艺影响最大，它们是生产过程中的关键工序。预测刻画器分析接着，我们很自然地想去了解造成“扩散”何“刻蚀”良品率低的罪魁祸首是谁。用JMP的“Pareto图”很容易

数年的艰苦努力，我国光伏设备企业已具备太阳能电池制造整线装备能力，可提供10种太阳能电池大生产线设备，扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉已在国内生产线占据主导地位，管式

制造商，能提供晶体硅体太阳能电池制造产业链上的硅片加工设备，如铸锭炉、多线切割机等；电池制造设备如清洗/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机、管式PECVD、石英管清洗机、丝网印刷机、高低温烘干烧结炉、自动分选测试仪

腾堡成立，2002年在中国苏州投资建立了库特勒自动化系统（苏州）有限公司。公司自05年起为尚德集团开发和供应高品质太阳能设备，以诚挚之心加入到低碳环保的太阳能事业。多年来，库特勒已形成湿刻蚀清洗制绒机
、边缘刻蚀及去PSG机、自动化上下料机，组件自动化传输线等设备研发制造产业链。在2011年库特勒占地166亩位于苏州的新基地将投入使用，届时，拥有一个德国基地，两个苏州基地的库特勒，必将成为太阳能电池

成功自主研发了清洗机、扩散炉、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一设备发展到单台设备与工艺结合，又从整线设备发展到整线设备与工艺结合的“整线交钥匙”系统

，在发展电子专用装备的历程中艰辛探索，先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一设备发展到单台设备与工艺结合，又从整线设备发展到

、刻蚀、减反射膜制备、电极印刷、低温烘干、高温烧结、自动测试分捡等环节。美国GTSolar公司在多晶硅设备行业耕耘多年。2003年,第一台GTSolar生产的多晶硅铸锭炉进入中国。那时,中国还没有多晶硅

太阳能电池为例,其产业链为硅矿石单晶硅或多晶硅硅片电池组件应用产品。除前道的材料提纯、硅片加工和后道的组件生产外,电池制造工序涉及清洗、制绒、扩散、刻蚀、减反射膜制备、电极印刷、低温烘干、高温烧结、自动测试