刻蚀

昨日，记者从扬州晶澳太阳能科技有限公司获悉，该公司创新太阳能刻蚀工艺技术应用，提高了太阳能光伏电池组件转化效率，使该公司生产出来的晶硅电池在光伏产业内继续处于全球领先水平。 补上电池生产线短板
公司刚刚投入6000万元引进了新设备、创新新工艺进行了太阳能刻蚀工艺技术改造，技术改造完成后，将使生产线工序从3个环节变成1个环节，原先需要3台机器，6个人运作的流程，变成了只需要1台机器，3

　　 OFweek太阳能光伏网讯，技术革新对于光伏产业尤为重要。昨日，记者从扬州晶澳太阳能科技有限公司获悉，该公司创新太阳能刻蚀工艺技术应用，提高了太阳能光伏电池组件转化效率，使该公司
只需要3名工人和一台新设备就能轻松应对。这是我们公司新改造的太阳能刻蚀工艺技术应用。公司工艺总监、清华大学博士宋锋兵介绍，公司刚刚投入6000万元引进了新设备、创新新工艺进行了太阳能刻蚀工艺技术

技术规格要求（见附件1）；调整六氟化硫断路器、串联补偿装置、PTA工艺空气压缩机组、大型空分设备、刮板输送机、刮板转载机、混凝土泵车、等离子刻蚀机等装备的进口零部件清单（见附件2）。二、国内企业申请

进口税收政策予以调整。光伏半导体等产业设备：晶硅太阳能电池生产用全自动印刷、烘干、烧结、测试分选系统、太阳能级单晶炉、多扩散炉、等离子刻蚀机、CIGS薄膜太阳能电池硒化、热处理设备、单晶硅棒多线切割机等被

系统、自动及手动补液系统、循环系统和温度控制系统等。Etch bath：刻蚀槽，用于制绒。 所用溶液为HF+HNO3 ，作用：1) 去除硅片表面的机械损伤层；2) 形成无规则绒面。Alkaline
Rinse：碱洗槽 。 所用溶液为KOH，作用：1) 对形成的多孔硅表面进行清洗；2) 中和前道刻蚀后残留在硅片表面的酸液。 Acidic Rinse：酸洗槽 。 所用溶液为HCl+HF，作用：1) 中和

黄河光伏日前宣布经过技术研发部经过近一年的技术攻关，公司在单晶和多晶高效电池技术研发方面取得了突破性的进展。通过采用氧化铝背钝化工艺，单晶电池转换效率达到了18.95%。多晶电池通过采用反应离子刻蚀
高效电池采用了RIE制绒技术，在多晶硅片制绒后使用等离子体在硅片表面进行轰击刻蚀，使硅片表面形成微小绒面，从而达到降低硅片表面光反射的目的，由于多晶硅电池对光的吸收增强，短路电流提高，电池转换效率因此提高

工艺采用在多晶硅片制绒后使用等离子体在硅片表面进行轰击刻蚀，使硅片表面形成纳米级的微小绒面，从而达到降低硅片表面光反射的目的，该工艺的主要特点是使电池的短路电流（ISC）得到了明显的提升，增强

收购将有助于其改善研究工作。PlasmaPro System100的关键特征包括加工温度的范围广泛，从低温至高达400C。 安哈尔特大学教授伯恩哈德(Bernhard)博士表示：无掩模硅干法刻蚀工艺可用
于处理硅衬底表面结构，以创造黑硅。 降低反射率为电池光捕获提供了更大的潜力。启用干法刻蚀工艺创造表面结构独立于硅衬底的晶体结构，并且能够应用于硅片的一侧。我们选择PlasmaPro系统由于其为我们提供了研究需要的所有功能。

索比光伏网讯:2012年是光伏集团知识产权工作取得丰硕成果的一年，其中力诺电力全年共有6项发明专利获得国家授予权，分别为一种太阳能电池片的制作方法、一种晶体硅太阳能电池干法刻蚀制绒工艺、 一种用于

已在国内生产线中占据主导地位。其中单晶炉、扩散炉、等离子刻蚀机、清洗制绒设备、组件层压机、太阳模拟仪等已达到或接近国际先进水平，性价比优势十分明显。多晶硅铸锭炉、多线切割机等设备制造技术取得重大进步