刻蚀

同样沉积本征钝化层（i）并堆叠掺磷的（n）层。钝化效果通过镀在刻蚀方向为100的绒面CZ硅片上来评估，硅片尺寸为156156mm，并使用Sinton WCT-120进行测试。同时，也采用未制绒的FZ

索比光伏网讯:SEMI在敦促美国政府修订半导体设备出口管制清单上取得突破性进展。据悉，美国商务部工业与安全局（BIS）即日将正式发文宣布，认可国外（中国）存在各向异性等离子干法刻蚀设备，这类设备在
ECCN编号为3B001.c。BIS将表明，中国有和美国ECCN3B001.c性能相当的刻蚀设备技术能力，因此，基于这项编码的美国国家安全出口管制将失效。这一禁令已经持续20多年，取消这条禁令十分必要

； 一、 引言 等离子处理器应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面活化、改性等场合，通过其处理能够改善材料的润湿能力，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂

：边缘漏电（刻蚀未完全、印刷漏浆）。基体内杂质和微观缺陷。PN结局部短路（扩散结过浅、制绒角锥体颗粒过大）。3.0 串、并联电阻的影响3.1 串联电阻对填充因子的影响因为填充因子决定着电池输出功率，因此

生成易挥发的四氟化硅气体。若氢氟酸过量，反应生成的四氟化硅会进一步与氢氟酸反应生成可溶性的络和物六氟硅酸。6.5、等离子刻蚀由于在扩散过程中，即使采用背靠背扩散，硅片的所有表面包括边缘都将不可避免地扩散
上磷。PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面，而造成短路。因此，必须对太阳能电池周边的掺杂硅进行刻蚀，以去除电池边缘的PN结。通常采用等离子刻蚀技术完成这一工艺。等离子

太阳能电池（IBC）而开发的导电型背板，提高组件的发电效率。 该类型背板由 于含有导电金属箔， 且需要对金属箔进行激光刻蚀或化学腐蚀， 工艺过程复杂、生产效率低且成本高， 现有的技术还不能根本解决这些问题
行等离子体刻蚀活化处理，然后涂覆含氟涂料， 通过微波固化、等离子体接枝处理工艺， 实现了胶膜一体化， 提高了背板与EVA的粘结强度， 制成涂覆型背板， 工艺流程见图8。 该生产技术的特点是不用胶， 在线制氟

应用 光伏装备国产化会议---（专题讨论） 会议议题方向 国产化光伏装备现状 主设备国产化现状（晶硅炉、PECVD、扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉、烧结炉、丝网印刷

、光伏专用设备制造国产化进程加速，部分设备开始出口。我国太阳能电池制造设备和太阳能光伏组件封装设备已经成功实现了国产化，太阳能电池制造设备如扩散炉、等离子刻蚀机、清洗机、管式PECVD以及烘干/烧结炉
良好的多晶硅生产企业的短期融资需求。 对于中小企业，仅限于低风险业务和标准贸易融资业务。 2、对集成系统及配套设备领域，如多晶硅铸锭炉、单晶炉、切片机、扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机等光伏装备

预测价格的关键。(4)光伏应用系统产品、光伏专用设备制造国产化进程加速，部分设备开始出口。我国太阳能电池制造设备和太阳能光伏组件封装设备已经成功实现了国产化，太阳能电池制造设备如扩散炉、等离子刻蚀机
和标准贸易融资业务。2、对集成系统及配套设备领域，如多晶硅铸锭炉、单晶炉、切片机、扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机等光伏装备制造企业，和与光伏终端应用关系密切的支架、逆变器、控制器等光伏应用系统