刻蚀
方法采用黑硅材料，制备的电池效率突破国际上同类结构电池的最高水平，达到18.97%。研究者通过在p型单晶Si(100)上扩散磷制备pn结，利用化学刻蚀方法在n型发射极中形成多孔黑硅，其紫外可见光范围
竞争力之一。n型硅片经过制绒、硼扩散、湿法刻蚀、磷离子注入/退火、Al2O3/SiNx、印刷烧结，最后形成n型单晶双面电池成片。中来光电掌握的核心技术体现在，硼扩散扩散工艺、离子注入法磷扩散工艺、表面
单晶双面电池制造的核心技术，这将成为下一步进军电池市场的核心竞争力之一。n型硅片经过制绒、硼扩散、湿法刻蚀、磷离子注入/退火、Al2O3/SiNx、印刷烧结，最后形成n型单晶双面电池成片。中来光电掌握
硅片经过制绒、硼扩散、湿法刻蚀、磷离子注入/退火、Al2O3/SiNx、印刷烧结，最后形成n型单晶双面电池成片。中来光电掌握的核心技术体现在，硼扩散扩散工艺、离子注入法磷扩散工艺、表面钝化工艺以及新一代
走进国家电投太阳能电力有限公司西宁分公司太阳能电池生产车间，听不见轰隆隆的机器声响，智能设备生产线上，太阳能电池正在经历着硅片清洗制绒、等离子刻蚀、丝网印刷、烧结等一道道工序。随着光伏产业如雨
光热资源得到有效利用，也为了节约企业成本，他们突破了光伏电池片多晶反应离子刻蚀(RIE)制绒技术，通过在硅片上刻蚀出绒状表面，不断提高硅片对光的吸收率，使太阳能电池片的平均转换率得到提高。目前此项技术在
设备、扩散设备、刻蚀设备等，建设 14 条 N 型单晶双面太阳能电池生产线。项目总投资 165,832 万元，建设期 1.5 年，达产后将实现年产 2.1GW N 型单晶双面太阳能电池的生产能力，完善
硅材料生产、硅片加工到太阳能电池芯片的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，已经初步具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉等开始批量出口。组件生产用的层压机、太阳能模拟器
绒/多晶在线式制绒、扩散炉、在线湿法刻蚀机、PECVD、丝网印刷机及测试分选设备。以上设备均可由国内设备厂家提供，其中，国产扩散炉和管式PECVD在热场设计、温度控制、工艺控制等核心技术方面取得全面
工艺。为电池生产提供产品质量和性能保证。多晶硅PERC电池基于先进的后钝化技术，集成了反应离子刻蚀（RIE）工艺，可更好获取光线。配备这些高效多晶硅PERC电池组件，组件电力产出可达286W。天合光能
，为量产电池效率的提升提供优质的片源保障。多晶硅PERC电池在先进的背钝化技术上整合了反应离子刻蚀(RIE)，形成更优的陷光结构。此高效多晶硅PERC电池封装成组件(60片)达到了286W的输出功率
(全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式PECVD)完全依赖进口外，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等已开始少量出口。国内企业可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗
