刻蚀
高新技术企业，主营产品为PECVD及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及自动化(配套)设备等晶体硅太阳能电池生产工艺流程中的主要及配套设备的研发、制造和销售。
选择性，通过化学刻蚀的沟槽隔开，分别与表面氧化物接触，因而具有优异的钝化效果。
基于SHJ电池的优异钝化性能、多晶硅/c-Si选择性输运和TOPCon的隧穿氧化钝化特性，Stodolny等提出
。然后通过LPD技术沉积本征多晶硅，再运用离子注入技术，形成P、N型的多晶硅和单晶硅。
利用光刻胶作为保护层，通过湿化学法对背面进行刻蚀，从而形成沟槽，将P、N型分离开后分别与金属电极接触，降低了载流子
;采用缓冲型化学回蚀体系，反应速度精确可控，且具有差异化刻蚀功能，可有效保持重掺杂和轻掺杂区域的方阻梯度。 (4)异质膜钝化减反技术;电池正表面减反膜采用多层介质膜组成的异质膜，异质膜与常规SiO2
工艺流程新增了两个重要工序。因此，钝化膜沉积设备和开槽设备(可采用激光或化学刻蚀方法)是需要在传统电池产线上额外增加的加工设备。
我国光伏电池制造设备企业已具备了成套工艺流程设备的供应
能力，部分产品如清洗/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机等已在国内生产线中占据主导地位，但整体技术水平同国际一流厂商相比仍有差距，成套生产线自动化程度低。管式PECVD设备与进口设备并存份额逐步扩大，但全自动
。 2.1光伏制造业产业链：污染耗能来源于硅料 光伏制造业主要包括晶硅提纯、硅锭硅片、光伏电池和光伏组件四个环节。晶硅提纯从工业硅粉中提取太阳能级晶硅，然后将硅晶体切割加工、刻蚀清洗、印刷电极制成
、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备等。天合光能、阿特斯、晶科、隆基等龙头企业均为其客户。此外，捷佳伟创近年大力开拓海外市场，目前海外营收占比近40%。2017年，公司五大客户：阿斯特、天鹤集团、隆基、中来光电
自动化制绒/刻蚀清洗上/下料机、自动化扩散上/下料机、自动化管式PECVD上/下料机、电池片自动串焊机、组件自动流水线等。报告期内，公司实现营业收12.56亿元，同比增长195.24%。报告期末应收账款
效率只有21.2%到21.4%，属于Perc里的落后产能;第二类是加入了热氧化工艺，优化了刻蚀、扩散匹配，效率可提升到21.7%;第三类应用了激光SE选择性发射极技术，量产效率可以提升至22%，是最先
，在世界排名第45，在新南威尔士排名第2。新南威尔士大学在四十多年的光伏技术领域一直处于全球领先地位。 关于江苏微导 江苏微导纳米装备科技有限公司是一家面向全球的高端设备制造商，专注于先进薄膜沉积和刻蚀装备的开发、设计、生产和服务。微导的业务涵盖新能源、柔性电子、半导体和纳米技术等工业领域。
