丝网印刷

摘要：丝网印刷工艺中借助悬浮网板印刷起始边的抬头功能，保证浆料脱离角度的一致性并提高网布脱离速度，进而提升电池片印刷质量，有效降低网板粘片率;通过悬浮网板印刷终止边的下探功能，降低网布形变量，有效
提升标准尺寸高张力网板的使用寿命。 一、广泛使用中的丝网印刷设备及其技术缺陷 目前广泛使用的太阳能电池丝网印刷设备，其设计理念来自半导体电路板印刷设备，这些转型开发的设备无法根本解决电路板与电池片

要4-5微米。 金属化工艺 对于PERC电池，其金属化工艺仍可采用丝网印刷工艺，但由于PERC电池的背面结构发生改变，对导电浆料的性能提出了不同于常规电池浆料的要求。 在背面局部金属化阶段，会遇到铝

载流子复合，提高表面钝化效果; (3)增强电池短波光谱响应，提高短路电流和开路电压。 目前选择性发射极的主要实现工艺有氧化物掩膜法、丝网印刷硅墨水法、离子注入法和激光掺杂法等，其中激光PSG掺杂法由于
工艺实验可以提高产量，节约生产成本。 3.2激光掺杂实验结果 用四探针对激光扫描的2020mm的样片进行方块电阻的测量，然后四组实验在相同的工艺条件下进行洗磷刻蚀、PECVD镀减反膜、丝网印刷电极和烧结

不仅影响反射率，而且还将对后续的扩散和丝网印刷有重要影响。金字塔的形成是一个成核与崩塌的动态平衡过程，腐蚀时间过长会使先前生成的金字塔发生崩塌，形成的新金字塔结构不利于光线反射，从而导致反射率升高

太阳电池对杂质的容忍度要明显大于P型硅电池。但从P型电池工艺的丝网印刷来看，N型电池在转换效率上一些关键工艺还有待解决，而且制造成本也没有优势。 2)优化减反膜。 Kang研究发现，虽然采用沉积

摘要：p型单晶硅太阳电池在el检测过程中，部分电池片出现黑斑现象。结合x射线能谱分析(eds)，对黑斑片与正常片进行对比分析，发现黑斑片电池与正常电池片大部分表面的成分相同，排除了镀膜及丝网印刷
、刻蚀、PECVD镀膜、丝网印刷、烧结等工序。每道工序过程中，由于存在人为因素、环境因素及机械不稳定等因素，造成硅片的一些缺陷及污染等，从而影响电池片的性能。因此黑斑片的出现，也许是硅片原材料的问题

可以看到，厚厚的Al层通过丝网印刷工艺印刷在硅片背表面上，位于顶部的AI层与其下面的Si衬底没有直接的接触，因为它们被一层AI2O3/SiNx叠层(厚度太薄而无法在图中显示出来)所分开，只是通过一个碗
丝网印刷Ag栅线也同时在高温条件下穿透SiN与n 发射极直接接触。结果与讨论　　ALD和PECVD这两种工艺都能用于在硅片表面沉积氧化铝薄膜。实验结果显示在金属化之前背表面的复合速率可以被很好地控制在

、丝网印刷、烧结等技术。 图一 单面PERC电池结构 PERC电池的技术发展 自2015年PERC电池逐步市场化以来，截止2016年底，全球PERC产能约为13.4GW，产量达到8GW左右;预计

，中来N型双面TOPCon电池背面采用多晶硅隧穿电极接触结构，正反两面均由覆盖SiNx减反膜，金属化由丝网印刷完成，由于两面栅线结构都是常规的H型，因此TOPCon电池不仅正面可以吸收光，其背表面也能从

制作流程一般为：制绒- 扩散-刻蚀-ALD- 正面PECVD- 背面PECVD- 激光开槽- 丝网印刷。随着PERC 电池的量产，在EL测试中，EL 测试仪总能测出正面发暗的电池片，如图2 所示
( 制绒- 扩散-刻蚀- 正面PECVD- 丝网印刷) 制作，另外100片按照前文所述的PERC 电池流程制作;同时，保证在电池片制作过程中都选用同种设备进行，以减小误差。制作结果如表1 所示，PERC