三氯氢硅

成为一条低能耗、高产量的完全闭合循环生产线，将剧毒废气四氯化硅转化为多晶硅原料三氯氢硅，实现闭环生产，做到废气系统内消化。冷氢化改造能把成本降低20%。 （2）原材料方面 在电池用银浆方面

新能源分公司承担的多晶硅生产四氯化硅循环利用产业化技术研究项目的创新点在于，能通过化学反应将多晶硅生产过程中产生的副产物四氯化硅转化成生产多晶硅的原料三氯氢硅，实现副产物的综合回收利用，变废为宝，大大

认为：中电投新能源分公司承担的多晶硅生产四氯化硅循环利用产业化技术研究项目的创新点在于，能通过化学反应将多晶硅生产过程中产生的副产物四氯化硅转化成生产多晶硅的原料三氯氢硅，实现副产物的综合回收利用

在国内外设立多个研发中心，组建一流的研发团队，破解了氯氢化技术难题。投资30多亿元建成十套氯氢化装置，实现四氯化硅循环利用装置与多晶硅总产能的全面匹配，实现零排放，企业的循环经济系统可将副产物全部

循环的使用可以有效解决四氯化硅以及三氯氢硅的排放问题，并达到回收并重复利用的目的。而国内一些四氯化硅事故中出现的氢氟酸污染事故，可以通过使用碱中和的措施，将氟离子完全沉淀再做处理

用的是甲硅烷SiH4(硅烷)和三氯硅烷SiHCl3(TCS)。在加热到分解温度时，气体经历如下反应：硅烷的分解温度约为420℃。但在此温度下，单个硅原子的动能太低不能形成晶体结构。因而，低温大气压

。这套自主研发并拥有自主知识产权的技术系统，通过在液态四氯化硅中加入硅粉和氢气，重新还原为多晶硅的生产原料三氯氢硅。一次转化率高达25－30％，总体转化率达99％。循环经济系统将四氯化硅、氯化氢、氢气等

独立研发的，主要技术填补国内空白。其工艺流程主要通过采用三氯氢硅为原料，在催化剂的条件下岐化为二氯二氢硅并进而岐化成硅烷经过提纯制得高纯电子级硅烷气。高纯硅烷气可用于生产高纯度多晶硅，并大幅降低多晶硅的

通过采用三氯氢硅为原料，在催化剂的条件下岐化为二氯二氢硅并进而岐化成硅烷经过提纯制得高纯电子级硅烷气。高纯硅烷气可用于生产高纯度多晶硅，并大幅降低多晶硅的生产成本，具有广阔的应用前景。目前，该技术已成

工艺流程主要通过采用三氯氢硅为原料，在催化剂的条件下岐化为二氯二氢硅并进而岐化成硅烷经过提纯制得高纯电子级硅烷气。 高纯硅烷气可用于生产高纯度多晶硅，并大幅降低多晶硅的生产成本，具有