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相沉积法（CVD），前两种方法效率低，不适于大量制备，而迄今由CVD法制备的石墨烯一般是由纳米级到微米级尺寸的石墨烯晶畴拼接而成的多晶材料。石墨烯中晶界的存在会严重降低其质量和性能，因此大尺寸单晶
现有转移方法大多是将金属基体腐蚀掉，不仅会造成石墨烯结构的破坏、基体金属的残存和环境污染，而且会显著增加石墨烯的制备成本，尤其不适合化学稳定性强的贵金属上石墨烯的转移。金属所科研人员在前期常压CVD

GT Advanced Technologies获得了一个1.013亿美元的订单，将CVD反应装置及配套生产设备出售给一个多晶硅生产商。该订单还附带一个和这个生产商签订的工程服务合同，在2012财年
的第二个季度，并且包括2011年12月31日前生产的3季度GT的库存。GT的总裁兼首席执行官Tom Gutierrez表示：此次销售是一个值得关注的里程碑，GT第一次将其CVD反应装置出售给现在最大的

索比光伏网讯:GTAdvancedTechnologies获得了一个1.013亿美元的光伏" title="光伏新闻专题"光伏订单，将CVD反应装置及配套生产设备出售给一个多晶硅生产商。该光伏订单还
里程碑，GT第一次将其CVD反应装置出售给现在最大的多晶硅制造商之一。这进一步表明我们能为多晶硅行业提供高效设备和服务，能帮助生产低成本、高质量的多晶硅产品。

索比光伏网讯:GT Advanced Technologies Inc.（纳斯达克股票代码：GTAT）今天宣布，该公司已获得一家多晶硅生产商一份价值1.013亿美元的CVD反应器和辅助生产设备订单
首次向一家大型多晶硅生产商销售CVD反应器，具有显著的里程碑意义。这进一步证明了我们向多晶硅行业提供高效率设备和服务，生产低成本、高品质多晶硅的能力。我们已与该客户合作了一段时间，我们期待继续为其提供

OFweek太阳能光伏网编译：CVD Equipment公司公布2011年新订单总额超过3，600万美元，较2010年的2，500万美元增长44%。CVD/FN部门获得的生产和研究系统新订单约为
3，050万美元，同比增长45%。CVD预计2012年市场需求将继续保持强劲。CVD Equipment总裁兼首席执行官Leonard Rosenbaum表示，除了在太阳能电池、石墨烯薄膜、碳纳米管、硅

SIMvzw的分公司Flamac表示他们将同imec合作开发光伏电池应用的新型半导体材料。此次合作生产的是标准CIGS光伏电池的替代材料。Flamac将继续改进PVD/PE-CVD镀膜技术，能自动
处理不同的薄膜材料。该技术有8个工艺室，据说更适合研究PVD和PE-CVD喷涂工艺。Imec负责继续研究光伏电池，目的是改进效率和不同技术的生产能力，包括硅基光伏电池和薄膜光伏电池。Imec的能源项目

，科林研发(LamResearch)也迅速购并诺发(Novellus)，先后创下近5年来设备业两大购并案；业界分析，科林之前发展CVD(ChemicalVaporDeposition)和PVD
。业界进一步分析，诺发的强项是太阳能薄膜电池设备CVD化学气相沉积制程和太阳能薄膜制备设备PVD物理气相沉积制程，科林之前一直要自己开发CVD和PVD技术，但并结果并未如预期顺利，因此直接买下诺发是

直接的影响，本文的目的就是研究工艺气体流量对膜性能的影响。以实验的数据来阐述。　　1机理分析　　1.1气体的输运　　在CVD系统中，气体的流动处于黏滞流的状态。气体的输运过程对薄膜的沉积速度、薄膜
厚度的均匀性、反应物的利用效率等都有重要的影响。　　气体在CVD系统中发生两种宏观流动，一是外部压力造成的压力梯度使气体从压力高的地方向压力低的地方流动，即气体的强制对流。二是气体温度的不均匀性引起的

5月初进行试车，并在第二季度实现投产。二期工程顺利投产后昱辉阳光的多晶硅综合成本将会降至25美元/公斤（含折旧）；5.二期工程的关键设备，如CVD还原炉、冷氢化的流化床（FBR）均由昱辉阳光提供设计及
生产成本；8.二期工程在冷氢化流化床后端还设置了反歧化装置，通过反歧化技术提高四氯化硅（STC）向三氯氢硅的一次转换率；9.此外，二期工程还在CVD还原生产环节设置了大容量的热能回收装置，回收的热能可以有效供给三氯氢硅精馏装置的热能需要。

进行试车，并在第二季度实现投产。二期工程顺利投产后昱辉阳光的多晶硅综合成本将会降至25美元/公斤（含折旧）；　　5. 二期工程的关键设备，如CVD还原炉、冷氢化的流化床（FBR）均由昱辉阳光提供设计
间接降低了多晶硅的生产成本；　　8. 二期工程在冷氢化流化床后端还设置了反歧化装置，通过反歧化技术提高四氯化硅（STC）向三氯氢硅的一次转换率；　　9. 此外，二期工程还在CVD还原生产环节设置了大容量的热能回收装置，回收的热能可以有效供给三氯氢硅精馏装置的热能需要。