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Material公司还开发了磁控溅射PECVD系统，该系统使用磁控溅射源轰击高纯硅靶，在氨气的气氛中反应溅射，形成SiNx分子沉积到样品表面。这种技术的优点是不使用易爆的硅烷气，安全性提高很多，另外沉积
不是电极的一部分。直接法又分成两种：　　（1）管式PECVD系统：即使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以放置多片硅片的石墨舟插进石英管中进行沉积。这种设备的

纯硅料生产项目采用世界最先进的“西门子改良法”，这一技术将打破国际多晶硅技术垄断。江西中材太阳能高新材料有限公司是国内唯一一家掌握石英陶瓷坩埚生产技术并拥有自主知识产权的内资企业。　　为打造
发展制高点　　李安泽强调，为提升新余市新能源产业的国际影响力，新余正在加快技术创新体系建设。据悉，江西赛维拥有国际最先进的多晶硅片生产设备和工艺，所产硅片品质居国内同行业领先水平，正在建设并部分投产的高

江西省已经出台《江西省光伏产业发展规划》。根据规划，力争到2012年将江西打造成全球重要的光伏产业生产基地。全省光伏产业销售收入达到3500亿元，高纯硅料8万吨，多晶硅片和单晶硅片17000兆瓦
光伏企业。近年来，在中央政府大力推广新能源政策的支持下，各地方省份也是积极跟进，培养优势产业。江西省抓住机遇，凭借粉石英（硅材料主要原料）储量全国第一的资源优势，出台多方面措施保障光伏产业发展。短短3

需用成本极高的高纯石英坩锅，因此1998年起多晶硅(理论上光电转换效率为18%左右)市场份额逐渐超过单晶硅，成为市场的主流。　　第二类是薄膜涂层电池，包括非晶体硅(a-Si)电池和化合物半导体电池
，形成技术封锁、市场垄断的状况；最大的技术差距在于硅提纯，技术壁垒在于尾气回收利用技术，利用化学的方法在高纯硅提炼过程中会产生四氯化硅、三氯氢硅等易爆有毒气体，尾气回收技术将直接决定了污染程度的高低

迅速发展的不利因素和障碍，具体表现在：　　1. 高纯硅材料严重短缺（95％进口）。　　2. 主要市场目前在国外（95％以上出口）。　　3. 国内太阳电池生产能力迅速膨胀，2007年全国太阳电池
层次，即从硅材料到硅片，再到太阳电池片，然后到太阳电池组件，最后到光伏发电系统应用（如下图所示）。硅元素在地球上的储量非常丰富，硅材料的来源—石英石在全球的分布也十分广泛。中国是硅矿的主要产地，优质石英

纷纷上马的时候，国外的光伏企业同样不甘落后，以德国的瓦克为例，到2020年其多晶硅的生产能力将达到15万吨。而就国内光伏产业发展最为活跃的江苏而言，省政府认识到多晶硅（高纯硅）提炼是一个高能耗，并具有
原料供应商，一方面在于光伏产业的高耗能、高耗电、存在潜在的污染威胁。江苏省提高审批门槛，无疑会促进江苏多晶硅（高纯硅）的提炼企业更加健康有序的发展。江苏省对多晶硅提炼进行宏观调控有其

设备正在不断改进、安装调试。锦州新世纪石英玻璃有限公司自主开发高纯石英砂制备太阳能级多晶硅，小试产品已拉制太阳能单晶硅，正在建设年产300吨中试实验线。另外与河北工业大学、厦门大学等合作采用冶金法及新工艺生产太阳能级高纯硅材料也有新的突破，4N产品开始规模化生产。

较高的单晶硅锭。单晶硅太阳能电池的理论效率高于25%。多晶硅太阳能电池的大量采用是因为拉制单晶硅需要消耗大量能源以及昂贵的高纯石英坩锅。薄膜多晶硅太阳能电池效率已大于10%。铸锭多晶硅
的主角。但是由于晶体硅太阳能电池所需的原材料高纯多晶硅价格飙升，制造晶体硅类太阳能电池能耗大，要大幅度地降低太阳电池的制造成本，还必须发展非晶硅太阳能电池。晶体硅与非晶硅太阳能电池及其产品的优缺点见下

(工业硅，99%纯度)—高纯硅(6N或以上纯度)—单晶硅或多晶硅—硅片—电池—组件—应用产品，设备是基础和支撑，贯穿了所有环节。　　除前道的材料提纯、硅片加工和后道的组件生产外，最关键的工序为
性价比占据了国内市场的绝对统治地位并批量出口亚洲，多线切割机已取得突破，多晶硅铸锭炉推向市场指日可待。　　高纯硅材料提纯设备中关键的24对棒还原炉在国家“863”计划的支持下也已研制成功

　　日前从泉州市电子行业管理办公室了解到，在光电产业领域，泉州市拥有中国最大的高纯硅生产企业，即南安市三晶硅品精制有限公司。目前，该公司提纯的硅原料纯度达到了99.999％，并且于去年8月实现了
企业也是我国目前最大的高纯硅生产企业。　　尽管与太阳能电池所需的硅材料相比，我们的提纯技术相差甚远，因为越是到小数点后面的位置，百分之零点零零几的差距越是一道极难跨越的技术难关。张秋琛说。但是