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PECVD目的在硅片表面沉积一层氮化硅减反射膜，以增加入射在硅片上的光的透射，减少反射，氢原子搀杂在氮化硅中附加了氢的钝化作用。镀膜原理光照射在硅片表面时，反射会使光损失约三分之一
: 从裸露的硅表面和从覆盖有折射率为1.9 和2.3 的减反射膜的硅表面反射的正常入射光的百分比与波长的关系： 2、氮化硅膜的钝化效果 PECVD 沉积SixNy 薄膜有一定

路线图ITRPV预测主要基于PECVD(等离子增强型化学气相沉积) 技术为基础的单面AlOx钝化技术，也就是AlOx仅仅钝化PERC电池背面。作为行业技术领跑者，东方日升则另辟蹊径，潜心研究行业最看好，但技术难度

，AstroHalo组件采用创新型PERC技术，可以降低电池背面的少子复合速率，同时提高背表面的光反射，因而显著提升组件功率。同时，多晶PERC叠加湿法黑硅工艺及MBB技术，使得72片AstroHalo组件比常规多晶高
30W+。可靠性方面，多晶高效组件解决了多晶背钝化载流子诱导衰减问题：采用掺镓硅片可解决初始户外光衰问题，开发缺陷饱和技术解决红外衰减问题和电致衰减问题，并通过了国际标准老化测试。正泰

衰减可保持在3%以内，P型多晶组件的首年衰减则一般按 2.5%来质保，电池均无需经过再生处理。 2.PERC组件的光衰 P型PERC技术对晶硅电池背面做钝化，电子需要扩散更长的距离经过
激光开槽处才能传输到背面的铝电极，因此缺陷与杂质会引起更加明显的光衰。如下图所示，P型单晶PERC电池的光衰均高于常规单晶，P型多晶PERC电池的光衰也高于常规多晶，单晶PERC电池光衰达到3%后开始恢复

(ALD)技术形成的Al2O3层被用于进行背面钝化。沉积形成的Al2O3层还要进行一次后沉积退火，这一步被集成在随后的背面SiNx减反射膜(ARC)沉积工艺上，采用的是管式等离子增强化学气相沉积
POCl3扩散以形成n+-Si发射极。然后在下一步移除磷硅酸盐玻璃(PSG)和清除电池背面。图一：分别展示了传统多晶硅电池(左)和CSI的高效多晶硅PERC电池(右)的工艺流程。使用原子层沉积

功地开发出了具有完全自主知识产权的新一代高效MWT背接触电池组件技术。 MWT是金属缠绕穿透技术(metal WrapThrough)的缩写，通过激光打孔、背面布线，消除了正面电极的主栅线，正面
电极搜集的电流通过孔洞引到背面，有效减少了正面栅线的遮光，提高了转化效率，同时降低了银浆的耗量。简单来说，就是无主栅的背接触电极技术。日托光伏自主开发的MWT+技术是国家光伏领跑者计划明确重点推荐

、高效还原等核心技术，N型单晶。中来股份 5GW的N型双面电池，N型双面Topcon(隧穿氧化钝化)电池，是光伏行业广泛认可的一个高效技术方向，具有易兼容现有n-PERT产线、改善PERC电池背面
专利的高效叠瓦组件技术，计印刷法 GPP 玻璃钝化芯片新工艺。南玻A 上半年项目：在镀膜技术上，第三代和复合功能节能玻璃产品，玻0.2mm-1.1mm中铝、高铝超薄电子玻璃，高端防眩光AG玻璃基板

太阳能电池组件、太阳能光伏发电以及光热一体化产品。冷氢化、三氯氢硅合成、反歧化、大型节能精馏、高效还原等核心技术,N型单晶。中来股份 5GW的N型双面电池，N型双面Topcon(隧穿氧化钝化
)电池，是光伏行业广泛认可的一个高效技术方向，具有易兼容现有n-PERT产线、改善PERC电池背面电流集聚现象、显著降低电极接触区域复合速度、获得更高Voc等优势。英威腾研发技术包括矢量变频器，在

可见一斑。 2017年8月，应用异质结和背接触技术，日本Kaneka公司HBC电池的效率达到创纪录的26.63%。值得注意的是，钝化接触(TOPCon)技术能实现背面整面钝化，且无需开孔接触
，可大幅提升N型电池转换效率，是N型电池重要发展方向。 TOPCon技术是在电池背面制备一层超薄的可隧穿的氧化层和一层高掺杂的多晶硅薄层，二者共同形成了钝化接触结构，为硅片的背面提供了良好的表面钝化

铝背场技术升级到PERC(钝化发射极背面接触)技术。首先，这是正常的技术进步：只需增加两道工序即可对现有系统进行升级，从而将太阳能电池片的输出功率提高1%(绝对数)或5%(相对数)。铝背场技术的
重要特征在于一开始必须对电池片背面进行全面钝化，而升级后就不再需要这一工序。起钝化作用的介电层同时充当内部镜面，用于反射从正面射入电池片内的长波光。这种电池片在生产时可以同时完成全面金属化和背面辅栅印刷

欧洲研究和创新中心Imec详细介绍了其nPERT(n型钝化发射极和全背场扩散)太阳能电池技术的发展路径，这种技术的目标是令批量生产转换效率超过24%。上周，在比利时布鲁塞尔举行的EU
PVSEC大会上，Imec宣布，最新一代大面积单面丝网印刷背面发射极nPERT电池的转换效率达到了23.03%，已经通过弗劳恩霍夫ISE研究所认证。 Imec高级研究员Loic Tous指出

背钝化电池采用掺镓硅片技术解决产品的光致衰减，为产品长期稳定性提供保障。双面制绒双面电池采用氢氧化钾碱刻蚀双面制绒体系，背顿化双面电池小批量量跑，对比酸刻蚀，正面效率下降0.06%，背面效率
提升1.08%，双面率达81.2%。叠层背减反膜双面电池背面氮化硅减反叠层膜设计模拟及多次实验对比，在保证电池钝化效果同时逐步降低双面电池背面反射率，提升背面吸收率。背面网板设计、浆料选择