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采用等离子体浸没离子注入方法制备黑硅，制备的多晶硅片反射率低至1%（在可见光波段内），表面微观结构和反射率可控。通过系统研究，研制的多晶黑硅电池转换效率最高达18.3%。小批量试产表明工艺稳定。专家组
索比光伏网讯:2013年10月12日，中科院前沿局组织专家在中科院嘉兴对微电子所承担的院知识创新工程重要方向项目等离子体浸没离子注入制备黑硅及太阳电池技术研究进行了现场验收。专家组由来自上海交通大学

电池的转换效率超过24%，标志着实验室具备了研制和生产高效IBC电池的能力，将对晶硅高效太阳电池的产业化起到积极的推动作用。高转换效率IBC电池不但可降低光伏系统的LCOE，在太阳能汽车、太阳能飞机等
输出功率提升5-10瓦，仅单晶半片的功率便可媲美常规的单晶PERC组件。同时，半片技术可使阴影遮挡对户用系统的影响降至最低，因此十分适合应用于周边有树木植被的居民屋顶安装场景。 2017年2季度

，将对晶硅高效太阳电池的产业化起到积极的推动作用。高转换效率IBC电池不但可降低光伏系统的LCOE，在太阳能汽车、太阳能飞机等特殊领域都有着广泛的应用前景。虽然目前因为IBC电池制造工艺复杂、使用的材料
遮挡对户用系统的影响降至最低，因此十分适合应用于周边有树木植被的居民屋顶安装场景。2017年2季度，晶科的半片组件已实现规模化量产的主流功率，60片单晶290-300瓦，单晶PERC310-320瓦

合肥物质研究院、教育部光伏系统工程研究中心、中科大先进技术研究院、合工大智能院、可再生能源电能变换技术国家地方联合工程研究中心、智慧能源创新平台等科研及创新服务平台，开展光伏新能源技术研发与品牌创新，在
应用第一城。至2016年底，全市已并网各类光伏发电系统4500余个、规模突破1GW，列省会城市之首；光伏累计发电达4.32亿千瓦时，节约标准煤约12.6万吨，减排二氧化碳达32.6万吨，光伏发电量占全市

。依托中科院合肥物质研究院、教育部光伏系统工程研究中心、中科大先进技术研究院、合工大智能院、可再生能源电能变换技术国家地方联合工程研究中心、智慧能源创新平台等科研及创新服务平台，开展光伏新能源
，打造中国光伏应用第一城。至2016年底，全市已并网各类光伏发电系统4500余个、规模突破1GW，列省会城市之首;光伏累计发电达4.32亿千瓦时，节约标准煤约12.6万吨，减排二氧化碳达32.6万吨

（PECVD）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机等晶硅电池片生产线设备，大面积TCO导电玻璃镀膜设备、用于背电极制备的多靶位磁控溅射系统，以及大尺寸、超薄硅片多
研究院、教育部光伏系统工程研究中心、中科大先进技术研究院、合工大智能院、可再生能源电能变换技术国家地方联合工程研究中心、智慧能源创新平台等科研及创新服务平台，开展光伏新能源技术研发与品牌创新，在高效逆变

）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机等晶硅电池片生产线设备，大面积TCO导电玻璃镀膜设备、用于背电极制备的多靶位磁控溅射系统，以及大尺寸、超薄硅片多线切割机、自动
物质研究院、教育部光伏系统工程研究中心、中科大先进技术研究院、合工大智能院、可再生能源电能变换技术国家地方联合工程研究中心、智慧能源创新平台等科研及创新服务平台，开展光伏新能源技术研发与品牌创新，在高效

几乎无光致衰减。我们对nPERT电池进行了光衰实验验证，如表1结果所示，光照60h后效率衰减仅0.11%，无光致衰减的特点能有效保证系统端的功率输出和发电量。表1 nPERT光衰实验结果通过EQE测试
均匀性示意图（左至右分别为均匀性差、中、好）背面N+的形成可以有热扩散的形式也可以用离子注入的形式。若是使用热扩散的方式，则工艺过程中要用到掩膜工艺，增加了工艺的成本及复杂性。离子注入是一种能够单面掺杂

空间，同时，N型单晶组件具有弱光响应好、温度系数低等优点。因此，N型单晶系统具有发电量高和可靠性高的双重优势。根据国际光伏技术路线图（ITRPV2015）预测：随着电池新技术和工艺的引入，N型单晶电池
效率提升空间和稳定性，成为行业关注和研究的热点。根据图1和2国际光伏技术路线图ITRPV2015的预测，随着背接触（BC）、异质结（HIT）等电池新结构，及激光、离子注入等新技术的引入，N型单晶电池的

的问题在于效率比较低，当时只有6%到10%，还有一个问题有严重的衰减，衰减百分之二三十，寿命也是它的短板，所以这种非晶硅就慢慢退出历史舞台。V族电池那么高的成本只能用在航天上，用在特殊的聚光跟踪的系统
PERC变成空型，变成离子注入，再变成正面扩散，相当于基本的扩散基本结构不太变化，这就变成了n型的PERC，你把它用成三氧化铝，再用点多晶硅，再一乘积，这个意思是差不多，就变成了Topcon，种类也是

通离子注入机在N型电池、P型电池中的应用的主旨演讲。以下为发言实录：杨帆：大家好！我是凯世通的CMO，我们的产品叫离子注入机，知道我们产品的朋友，麻烦大家请举手，果然没几个人。我们之前在这个市场上很少
发声，我们一直都是很低调的。我们现在是离子注入机的领跑者，是第一家能把它运用到光伏领域，帮助光伏生产企业降低设备成本，实现产业化，达到平价上网的最终目标。从硅片到电池片到组件的终端市场的价格，都在不断

功率保证保险。中来股份自专注高效光伏电池与组件以来，始终立足于创新技术的研发与应用。通过采用离子注入、硼扩散、ALD钝化与新一代二次印刷多种技术的叠加，中来成功研发出了正面转换效率大于22%的
。温度系数低传统P型组件温度系数0.4%~0.5%，而N型电池组件的温度系数0.39%，是高温地区的绝佳选择。无光致衰减 N型电池组件几乎无光致衰减(LID)，可更好的保障电站系统发电量，缩短

、离子注入技术、五主栅设计，使得熊猫电池正面效率高达21.5%，背面效率也达到19.8%。采用二代熊猫电池生产的熊猫双面发电PANDA BIFACIAL 60片光伏组件，正面发电功率可达300瓦，组件
工作，从而解决热斑问题，特别是针对要求高的户用光伏系统，更加安全、可靠。英利另外一款零碳产品是黑硅组件，融入了丰富的技术元素，采用新型制绒技术，大幅吸收光能，提升光伏电池转换效率的新型技术

，与常规单面发电组件系统相比，下降0.08元/kWh以上，有力地促进了光伏发电成本的下降。于波还透露，电站采用的N型双面发电组件是英利的一代熊猫技术，目前技术已经升级到二代。二代熊猫技术电池采用
离子注入提升电池效率，正面发电效率可达到21.5%，背面效率可达正面的92%，领先行业同类技术。采用二代熊猫电池生产的Bificial系列光伏组件(60片电池)正面发电功率可超过300瓦，组件背面最高可

℃，相比之下本产品更安全;二是阴影遮挡时发电量高，同样阴影面积下，该产品发电量比常规组件发电量高32%;三是占地面积小，因该产品在阴影遮挡情况下具有发电高的优势，所以系统设计时占地面积会比常规组件小
的行业国宝级产品熊猫再次技术升级。首先，高效N型单晶PERT电池，采用离子注入技术，在进一步提升电池正面效率(高达21.5%)的同时，大幅提升背面的发电效率(高达19.8%)，电池正背面效率

光伏发电系统寿命和发电性能的主要杀手，也是一直以来困扰行业的技术顽疾。光伏系统部分电池被物体遮挡，造成局部阴影，引起电池片发热，产生热斑现象，严重时会影响系统的寿命和发电能力。为解决这一
的特点，保证了光伏系统的收益。据英利技术中心副经理倪健雄介绍，英利智能无热斑组件中，每片电池片并联一个二极管，当受到遮挡时被遮挡电池片并联的二极管两点电压发生变化，二极管导通，电流自二极管流过

拥有数名博士及国际顶尖电池研发技术人员，已累计申请高效电池相关专利 40 余项，其中已授权 10 余项。创新的将离子注入技术应用于 N 型太阳能电池生产中，实现了正面 21.3%、背面 19.2%的
提升在未来的市场竞争力。我们的市场集中在环保、能源、健康、机动车及工业应用等领域。我们的产品组合极为丰富，涵盖了从组件到集成材料系统，广泛应用于钢铁、电子、化工、汽车和通信等行业。2015 财政年度

数名博士及国际顶尖电池研发技术人员，已累计申请高效电池相关专利 40 余项，其中已授权 10 余项。创新的将离子注入技术应用于 N 型太阳能电池生产中，实现了正面 21.3%、背面 19.2%的量产高
在未来的市场竞争力。我们的市场集中在环保、能源、健康、机动车及工业应用等领域。我们的产品组合极为丰富，涵盖了从组件到集成材料系统，广泛应用于钢铁、电子、化工、汽车和通信等行业。2015 财政年度

地拓展了IBC电池光学和电学性能的优化空间，电池转化效率也得到极大的提升。IBC 电池的优势：1.转化效率高，平均转化效率大于22%。2.无LID（光致衰减），更好地保障系统发电量，缩短投资回报期。3.
分布式市场更具优势。IBC结构图泰州中来光电科技有限公司自2016年成立以来，始终以创新为主，立足于技术的不断进步，创新将离子注入技术应用于N型太阳能电池生产中，实现了正面大于21.0%、背面大于19.0