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中图表4：山东泉为科技零碳工厂园区内景孙云教授简介·参加国家“七五”科技攻关，研发出“七室连续PECVD分室沉积系统”填补国内空白(1990年)，由此制备出硅薄膜单结电池组件效率达7.88
%(400cm2)，工艺稳定具有很好的一致性，为当年国际先进水平;·主持国家“八五”科技攻关，研发硅薄膜叠层电池组件效率8.28%(400cm2);研发出“弱光型非晶硅光伏电池芯片”，并完成了全国产化生产线的工艺

进行改良，通过在电池的后表面引入氧化硅薄膜，提高了电池背面的光吸收和电子收集效率。而Topcon技术则是一种全新的电池架构，它改变了传统的电池结构，在电池背面引入了一层细小的隧道氧化物层，以增强背面
的电子收集效率，进而提升电池性能。在背面结构上，PERC电池与Topcon电池也存在显著区别。PERC电池在背面增加了氧化硅薄膜，形成绝缘层，有助于减少电子的反向复合和损失。而Topcon电池的背面引入

研究成果，技术革新等。2023年发布的影响因子为6.9。在这项研究中，研究人员采用了低压化学气相沉积技术，通过精确控制沉积工艺，制备了不同结晶态的本征硅薄膜，并随后进行硼掺杂。研究结果表明在较低
温度下沉积得到的非晶硅薄膜可以在硼扩散后实现低接触电阻率(ρc = 0.81 mΩ⋅cm2)和改善的钝化性能(Δi-Voc 10 mV)。这一研究实现了具有优异的钝化性能和低接触电阻的p+

)薄膜。这些薄膜具有较高的电子传导性能和优良的钝化特性。Topcon工艺流程如下几个方面：前表面钝化：在电池的前表面涂覆一层非晶硅或微晶硅薄膜，这一层薄膜增强了表面的电子传导性，降低了电子复合损失。后表面
钝化：在电池的背面涂覆一层相同的非晶硅或微晶硅薄膜，用于钝化背面，减少了载流子的反向复合。Topcon工艺的优点包括高效率、较低的表面复合损失、较低的导电损耗以及良好的热稳定性。然而，它的制造工艺较为

、PVD镀膜、丝网印刷、测试分选和包装入库等步骤。其中，PEVCD镀膜和PVD镀膜是关键步骤，分别用于沉积本征非晶硅薄膜和掺杂非晶硅薄膜，以及沉积TCO透明导电氧化薄膜。由于TOPCon电池的生产流程相对
较简单，不需要像异质结电池那样需要进行复杂的的高温处理，因此生产周期更短，生产效率更高。较高良品率：由于TOPCon电池的背面没有本征非晶硅薄膜，因此在制造过程中不会出现因非晶硅薄膜不均造成的良品率