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摘要:利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法沉积给定折射率的氮化硅薄膜,通过正交实验法对衬底温度、NH3流量和射频功率3个对氮化硅薄膜沉积速率影响较大的工艺参数进行全局优化和调整,得到了氮化硅
过程中出现的薄膜破裂及纯度不高的问题进行了工艺参数优化;文献研究了硅烷浓度、存底温度等工艺参数对PECVD沉积产物特征的影响。然而,现有的试验方法均属于单响应物理试验,需要耗费大量的时间和经费

半导体材料科技有限公司，打造国内首条5000吨电子级多晶硅专用线，经过近两年的建设与调试，已经生产出合格电子级多晶硅产品，实现了原料自主。鑫华半导体项目采用改良西门子法循环利用氯硅烷工艺生产电子级多晶硅。经过前期缜密的调试，目前产品指标经第三方测试远超国标电子一级品指标，试拉晶体效果完美。

，以及相应知识产权、科技含量、品牌计算得出的结果，包括了此前收购的SunEdison 第五代CCZ 拉晶技术、硅烷流化床颗粒硅技术及其附属公司SunEdisonProductsSingapore
颗粒硅和GCL法棒状硅等技术在世界多晶硅产业中引领行业。以保利协鑫2017年财报数据为例，如下图所示，包含多晶硅和硅片的光伏材料业务分部，2017年保利协鑫光伏材料收入约为193.55亿元人民币，其中

资料显示，一年前，保利协鑫收购了美国光伏公司SunEdison，并接手CCz技术、硅烷流化床颗粒硅(FBR)技术及百名研发人员;一年后，通过整机设备国产制造开发、核心辅材国产化供应链开发、工艺优化
硅料是FBR技术生产的颗粒硅，其一方面具有反应温度低、还原电耗低、沉积效率高、反应副产物(氢气)简单易处理等优点，相较于改良西门子法60KWh/kg的综合电耗，FBR颗粒硅综合电耗仅为25Wh/kg

，CCz和RCz技术是两种完全不同的炉型，无法通过设备改造转换，重复的RCz产能新上马即面临淘汰风险。同时，业界关注的还包括这次收购中的另一个重点：FBR硅烷流化床法技术。由于FBR的高品质颗粒硅
产品可作为CCz的最佳用料，这两种新技术的叠加将形成更难逾越的技术壁垒，由此大幅增强企业的核心技术竞争力。保利协鑫也成为全球唯一一家同时拥有FBR和CCz两项先进技术的公司。据了解，FBR硅烷

单晶项目将采用CCz连续直拉单晶技术进行生产。该技术源于公司对外购买并进行消化吸收。2017年4月，保利协鑫能源曾公告称完成了对SunEdison第五代CCz连续直拉单晶、FBR硅烷流化床法技术及资产的收购。历经一年时间的吸收、优化、整合后，保利协鑫能源大举进军单晶硅片。

一半达到 52.43%，我国多晶硅原料依赖国外市场供应的局面大幅改善。未来，随着硅烷流化床法的运用与推广，多晶硅生产成本将进一步降低。 ②硅片硅片为多晶硅的下游工序，该环节为资本密集型
304,300MW，年复合增长率高达 40.98%。 (2)光伏产业的格局从欧洲一枝独秀发展为全球百家齐放 2000 年，德国颁布《可再生能源法》(EEG)，为德国光伏产业的快速发展奠定了坚实的法律基础

的技术，5000吨产能硅烷流化床法颗粒硅已经连续稳定生产，品质指标达到预期;与国家集成电路产业投资基金合作的电子级多晶硅项目也完成投产，下游测试反馈情况良好。未来江苏中能多晶硅基地将成为低能耗、高附加值的前沿产业基地。版权归原作者所有，365光伏整理发布来源：能源一号

超负荷运行，进一步降低了成本，提高了效益。从各企业生产情况看，目前全国在产企业 17 家（包括正常检修企业），江苏中能和特变电工均超负荷运行，目前江苏中能 6.5 万吨/年改良西门子法及 3000
吨/年硅烷流化床产能运行稳定，已经保持每月 5900 吨（按 31 天算）左右的产量运行。特变电工目前每月维持在 1800 吨以上的超负荷生产，现居国内产量第二位，并且意欲通过技术改造降低成本等