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经济型的多晶硅制造方案。三氯氢硅法在安全性、存储运输方面具有一定优势，且在有用沉积比和沉积速率方面最优。经过不断改良之后，电耗的生产成本已经降至接近硅烷法的程度。第一代三氯氢硅法循环利用率不佳。四氯化硅
直接被视为副产品，而氯化氢气体水溶后成为盐酸，同样不再进入循环使用。第一代三氯氢硅法多晶硅生产系统的回收和循环系统很小，因此总体投资不大，但原材料浪费严重，生产成本高。年产超过百吨后则难以为继。热氢化

工业气体公司担任过各种职务，旨在加快该公司在太阳能、半导体和薄膜晶体管应用方面的发展。办事处将考虑在未来扩大销售和营销人员队伍。Voltaix, LLC 全球销售兼营销总监 Greg Muhr 表示
缺陷形成和不断提高设备生产能力来提高可制造性。Voltaix 是锗烷、乙硼烷、丙硅烷和三甲基硼等众多电子产品的世界领导厂商。该公司采用了内部开发的专有合成、提纯和包装技术，同时还为自己的生产车间亲自

进行喷林洗涤，从废气处理塔顶排出中性气体，主要成分是氮气和少量的氢气；氯硅烷水解产生的盐酸和二氧化硅，盐酸与碱反应形成中性水，进一步处理后达标排放；二氧化硅通过压滤固化后运至政府指定垃圾场。以江西赛维
氯氢硅，提纯后再返回还原系统使用；HCl气体送三氯氢硅合成工序；氢气返回还原工序生产多晶硅。整个多晶硅生产系统是一个理想的物料循环、能量回收利用的闭路循环系统。在多晶硅生产过程中，四氯化硅是多晶硅生产

处理塔内用碱性水对废气进行喷林洗涤，从废气处理塔顶排出中性气体，主要成分是氮气和少量的氢气；氯硅烷水解产生的盐酸和二氧化硅，盐酸与碱反应形成中性水，进一步处理后达标排放；二氧化硅通过压滤固化后运至政府
硅，提纯后再返回还原系统使用；HCl气体送三氯氢硅合成工序；氢气返回还原工序生产多晶硅。整个多晶硅生产系统是一个理想的物料循环、能量回收利用的闭路循环系统。　　在多晶硅生产过程中，四氯化硅是多晶硅

能幸免。多晶硅生产过程中的污染主要来自于副产物四氯化硅。每生产1吨光伏多晶硅同时副产10吨到20吨四氯化硅，且四氯化硅一遇潮湿空气即分解成硅酸和剧毒气体氯化氢，对人体眼睛、皮肤、呼吸道有强刺激性。如此大量且有
%以上的四氯化硅转化为三氯氢硅，整个生产过程采用闭环设计，同时也可减少生产过程中的废气、废液污染。此外，另一些企业也在尝试采用如硅烷法、冶金法等不同生产工艺进行污染副产物控制。王海生表示，目前国内40

4月11日，多晶硅片和光伏产品生产商赛维LDK太阳能有限公司（下称：“赛维LDK”）（纽交所上市代码：LDK）宣布投资3500万美元，建立一条新的硅烷气体生产线，以满足半导体、太阳能和平板显示器行业
对硅烷气体日益增长的需求。据悉，该生产线可供应2000吨硅烷气体，预计今年第三季度开工建设，2012年第一季度竣工，第二季度投产，位于江西省新余市的马洪工厂。硅烷是重要的新材料产品，广泛应用于LCD