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目前商业化生产的薄膜硅太阳能电池主要分为非晶硅(a-Si)薄膜和非晶/微晶硅 (a-Si / μc-Si) 叠层薄膜。其生产工艺首先是在玻璃基板上制造透明导电氧化物(TCO)，然后再通过PE C V
D方法沉积p型、i型和n型薄膜，最后用溅射做背电极。目前工业化的TCO制备方法有溅射法(Sputter)和化学气相沉积法(CVD)，分别在玻璃基板上形成ZnO:Al或ZnO薄膜。化学气相沉积通常使用

新一代高性价比、高产能、高可靠性的非晶硅薄膜太阳能电池生产线。其核心设备：新一代等离子强化型化学气相沉积（PECVD）系统拥有完全自主知识产权，在多基板-致密沉积类别的设备家族中，解决了射频不稳定和
光伏电池光电转换效率 6%（可支持工艺技术升级）　　玻璃尺寸：1245 mm 635 mm（可支持尺寸至2490800）(编辑:xiaoyao)

等离子强化型化学气相沉积（PECVD）系统拥有完全自主知识产权，在多基板-致密沉积类别的设备家族中，解决了射频不稳定和高温操作等弊端，占据了光伏设备技术的世界领先地位。“双星—3000”目前的最佳配置
支持工艺技术升级）·玻璃尺寸：1245 mm × 635 mm（可支持尺寸至2490×800）上海曙海太阳能有限公司上海曙海太阳能有限公司（以下简称曙海公司）于2008年4月8日在上

研发成果，中美等国家的六家企业推出的顶尖技术更是成为此次展会的最大亮点。　　第一，是由美国“应用”推出“革命性”双结薄膜技术。这是全球第一条也是唯一一条在2.2米 X 2.6米的超大玻璃基板上制造
薄膜硅太阳能电池组件的生产线，其面积是目前太阳能电池生产中所使用的最大基板的4倍。　　第二，是由“新奥”产出全球最大硅基薄膜太阳能电池。河北新奥光伏能源有限公司与合作方美国应用材料公司一年多

组件生产线于2009年4月14日在全球率先取得生产验收认证。该生产线使用5.7平米的超大基板，制造的太阳能光伏组件效率可高达8%，产品良率和年产量等指标都符合标准。该生产线目前已经开始量产。应用材料
取得成功，这正是应用材料公司核心竞争力所在。” 薄膜双结太阳能面板每瓦的硅使用量仅仅是传统晶体硅太阳能面板的1/50。通过双结技术和5.7平米超大面积基板的结合，再加上大规模的生产能力

本。” 太阳能也从半导体技术中获利。“有两种产生光伏电力的方法，一种是采用5寸或6寸的硅片，与半导体相似，每个硅片上制作二极管；几个硅片依次接在一起形成组件。”另一种是采用薄膜技术，将材料沉积在玻璃
基板，然后在上面制作刻线和二极管，他说。太阳能光伏等比紧缩（scaling）的因素与增加的尺寸无关，而与增加的效率相关。 Bernie Meyerson, IBM Fellow IBM系统和技术

玻璃基板的尺寸(半导体业中是特征尺寸缩小)，每两年推出新的更大尺寸，有时更快些。应用材料公司看到在薄膜太阳能光伏市场中存在同样的周期循环机会，将在半导体制造中成熟的薄膜淀积设备及工艺运用
到FPD及PV中。新的8代玻璃基板(2.2x2.5m)用来制造光伏电池，但是在应材薄膜制造中的许多工艺应用被简化。他接着指出，目前光伏发电的成本已靠近过渡区(transition

借助于在IC业中成熟的关键技术使得FPD业进展更快。与半导体不同之处，推动FPD市场成本下降的动力来自于增加玻璃基板的尺寸(半导体业中是特征尺寸缩小)，每两年推出新的更大尺寸，有时更快些。应用材料公司
看到在薄膜太阳能光伏市场中存在同样的周期循环机会，将在半导体制造中成熟的薄膜淀积设备及工艺运用到FPD及PV中。新的8代玻璃基板(2.2x2.5m)用来制造光伏电池，但是在应材薄膜制造中的许多工艺应用被

半导体相似的周期循环。另外借助于在IC业中成熟的关键技术使得FPD业进展更快。与半导体不同之处，推动FPD市场成本下降的动力来自于增加玻璃基板的尺寸(半导体业中是特征尺寸缩小)，每两年推出新的
更大尺寸，有时更快些。应用材料公司看到在薄膜太阳能光伏市场中存在同样的周期循环机会，将在半导体制造中成熟的薄膜淀积设备及工艺运用到FPD及PV中。新的8代玻璃基板(2.2x2.5m)用来制造

机电产品为其配套。低铁玻璃由于具有透光率高、反光率低、机械强度大和耐腐蚀等特点，被广泛应用于光伏组件的基板材料。硅烷是生产单晶硅、多晶硅、非晶硅等一系列含硅化合物的基本材料。在等离子增强化学气相沉积工艺中
单晶硅电池的转换效率最高,国内已达到17.6%。多晶硅电池的转换率也突破了16%。制造太阳能晶硅电池需要经过很多工艺，其中包括硅片清洗、表面制绒、扩散制结、去磷硅玻璃、等离子刻蚀、镀减反射膜和丝网印刷等

，业绩增长可期.同时，新华光是光电信息材料行业领军企业，经多年潜心研制计算机硬盘用微晶玻璃基板，为国际领先，国内第一，一举奠定了公司在行业内科技领跑优势地位，并且打破了国外企业对在我国硬盘业垄断地位
控股股东力诺集团及其子公司力诺新材料、济南力诺非公开发行不超过1.2亿股A股，力诺集团等以其拥有的太阳能热利用终端产业及配套于光热产业的相关资产、太阳能集热管相关资产、太阳能玻璃新材料资产认购股