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、工艺和服务整合解决方案，而且都获得了较好的成绩。近期电池组件有一个新的趋势，那就是半片组件的兴起，所以奇元裕结合自身深厚的自动化技术基础，针对性的开发了KWplus激光划片机，该款产品具备极高的划片
。奇元裕激光划片机作为国内领先的光伏技术服务型企业，奇元裕始终奋斗在行业一线，紧随行业趋势，为国内的光伏制造商提供最先进的光伏设备以及生产解决方案，协助客户有效提升产品质量，达到高性价的生产

拿下鉴衡、UL、TV莱茵三大机构的双面产品认证，也是全球唯一一款齐获三大认证的双面发电产品。 round3可靠性优势对比机械性能 PERC双面工艺背面需要激光开槽，这会弱化其本身的
机械性能，在电站应用过程中增加隐裂、碎片的概率，严重影响组件的可靠性;而N型电池目前的技术中都没有用到激光等工艺，不会对硅片造成额外损伤，而且两面都刷银浆，提高了电池的稳定性。特殊环境下可靠性 N型

硅片带来的价值溢价为： 48.560=0.8 就是说对于普通单多晶组件，单晶硅片卖贵0.8元是合理的。上面对比的是普通单多晶电池，但是当我们叠加perc、se激光、半片、反光贴条等一系列新技术
，早些年为了拼抢市场占有率投入重金扩充产能，然而时过境迁，新设备技术、工艺进步迅速，不仅价格更低，而且能耗、人耗也更低。最近调研惊闻：现在一条全新perc电池产线设备环节的投入仅需2.5亿元，这对

晶体硅太阳能电池制造工艺中，使用成本昂贵的蒸镀工艺制作电极，如采用Ti/Pa/Ag结构来降低接触电阻，增加与硅底的附着力。而在实际工业生产中，为降低生产成本，常采用导电性能优越的银浆料，用丝网印刷的
工艺制作正面电极，再通过快速烧结工艺使电极与硅基底形成良好的欧姆接触。电子浆料是制造厚膜元件的基础材料，是一种由固体粉末和有机溶剂经过三辊轧制混合均匀的膏状物，在现代电子科技业运用非常广泛。晶硅太阳电池

数量为60张，单张硅片带来的价值溢价为： 48.560=0.8元就是说对于普通单多晶组件，单晶硅片卖贵0.8元是合理的。上面对比的是普通单多晶电池，但是当我们叠加perc、se激光、半片
净资产的总额还要多。面对如此臃肿的资产负债表，只要资产价格稍稍变动，就会使得元气大伤。 3、生产设备老旧面临淘汰，某A公司，早些年为了拼抢市场占有率投入重金扩充产能，然而时过境迁，新设备技术、工艺进步

的不同而异。因此，钝化膜沉积设备和膜开口设备(既可以使用激光也可以运用化学蚀刻)都需要在传统的电池生产线上额外增加加工设备。对于较少应用的激光边缘隔绝处理工艺生产线，需要增加一个化学湿式工作台进行背面

工艺极其必要。 2硅片清洗技术 2.1清洗技术的分类和原理常用的硅片清洗技术有湿法清洗和干法清洗。湿法清洗采用具有较强腐蚀性和氧化性的化学溶剂，如H2SO4、H2O2、DHF、NH3H2O等
一种高度满足清洗要求的优秀工艺，并且可以推广到硅片的清洗工艺中。 2.3.4束流清洗技术束流清洗是指在电场力的作用下，雾化的导电化学清洗剂通过毛细管形成细小的束流状，高速冲击在硅片表面上，使得

太阳电池对杂质的容忍度要明显大于P型硅电池。但从P型电池工艺的丝网印刷来看，N型电池在转换效率上一些关键工艺还有待解决，而且制造成本也没有优势。 2)优化减反膜。 Kang研究发现，虽然采用沉积
Cz-Si作高效电池具有很大潜力。但由于镓在硅中的分凝系数比硼在硅中的分凝系数要低，以致掺硼的硅棒电阻率比掺镓的硅棒电阻率在沿晶体生长方向的变化较大，使得工艺控制相对较难，这也是其现阶段仍难较大推广的

。所有这些工作都加快了PERC概念从实验室研究向大规模工业化生产高质量太阳能电池的转变速度。本文接下来将具体介绍，通过将少量额外工艺步骤--包括AI2O3/SiNx叠层在硅片背面的沉积以及通过脉冲激光开槽
电极。电介质叠层的制作过程分成两步，首先是使用ALD或PECVD工艺在裸硅表面沉积一层非常薄的AI2O3(~5-25nm);紧接着使用PECVD工艺沉积一层较厚(100nm)的SiN层。通过脉冲激光

金属接触，有效降低背表面的电子复合速度，同时提升了背表面的光反射。 PERC电池实验室制备采用了光刻、蒸镀、热氧钝化、电镀等技术，而产业化PERC工艺采用了PECVD(或ALD)法钝化、激光开孔
，单晶PERC的光衰主要与电池中B-O对有关，此类衰减可通过降低硅片中氧含量、掺Ga、光照+退火等工艺消除。图二单晶PERC电池的LID衰减和恢复机理图三国产PERC电池的光照恢复

激光掺杂等，简化了IBC电池背表面p+/n+界面处gap的制备工艺流程，开发出行业内领先的低成本;其次，离子注入的最大优点是可以精确地控制掺杂浓度，从而避免了炉管扩散中存在的扩散死层，通过掩膜可以形成
吸收散射光从而产生额外电力。同时，通过采用离子注入技术整合整线工艺，简化工艺制程，提高良率，避免前后掺杂互相影响，最大化发挥N型结构的优势和效率潜力。在中来股份之前，全球仅有韩国LG具有该技术

转换效率的记录，也是目前唯一产业化的高效太阳电池技术。PERC电池在常规电池基础上增加了背面Al2O3/SiNxHy层叠钝化与激光开孔工艺。利用Al2O3薄膜的场钝化效应与SiNxHy薄膜的氢钝化效应
将硅片的有效载流子寿命由10～20s提高到100～120s，同时利用激光对Al2O3/SiNxHy层叠薄膜进行局部开孔，使铝浆能通过孔洞与硅片形成良好的欧姆接触。本文研究工业生产中工艺参数与PERC电池

，PERC 太阳电池在生产上相对容易实施，只需在常规太阳电池的制备工艺中增加2 个工序：沉积背面钝化叠层和背面钝化层激光开窗。对银浆而言，电阻小、高宽比大、降低银含量、玻璃粉无铅化是未来的发展目标。综上所述
浆料发展的方向，为未来光伏技术的发展及正银浆料国产化提供了一定的思路 01不同硅基太阳电池技术晶体硅太阳电池主要由经过不同工艺处理的硅基片、正面电极、铝背场及背面电极等组成。图1～图5 分别为不同

经过近20年的发展，常规硅材料太阳能电池在硅材料质量、辅材以及工艺方面都获得了持续的提升，目前业内主流光电转换效率平均水平，普通单晶约20.1%，普通多晶18.7%-19.1%。单晶PERC电池
钝化以及聚集正/负电荷形成的场效应钝化，见图1)来减少电池体内以及表面的复合。配合优化的扩散工艺，结合先进的SE工艺以及金属化工艺来降低接触电阻和栅线电阻，增大并联电阻，减少电流的损耗; 图