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近日，江苏微导纳米科技股份有限公司宣布其研发的全球首台适用于TOPCon技术的ALD设备正式进入量产阶段。微导研发的祝融系列(ZR4000X2)薄膜沉积设备平台，用于Topcon电池生产
设计理念。平台能很好地与目前量产PERC工艺兼容，技术首次通过一台设备完成三种工艺，相对于传统LPCVD设备沉积技术，将大幅改善N型电池正面多晶硅绕度面积与掺杂多晶硅镀膜速率降低的影响。设备兼容性还体现

江苏微导纳米科技股份有限公司研发的全球首台适用于TOPCon技术的ALD设备正式进入量产阶段。微导研发的祝融系列(ZR4000X2)薄膜沉积设备平台，用于Topcon电池生产技术，产品已交用户使用
能很好地与目前量产PERC工艺兼容，技术首次通过一台设备完成三种工艺，相对于传统LPCVD设备沉积技术，将大幅改善N型电池正面多晶硅绕度面积与掺杂多晶硅镀膜速率降低的影响。设备兼容性还体现于硅片尺寸

产线上升级改造，可延续存量产能使用寿命 TopCon 电池：基于N 型硅衬底，前表面采用叠层膜钝化工艺，背表面采用基于超薄氧化硅和掺杂多晶硅的隧穿氧化层钝化接触结构，可双面发电。得益于超薄氧化硅和掺杂多晶硅

HJT、HDT、SHJ。该技术是在晶体硅上沉积非晶硅薄膜，综合了晶体硅电池与薄膜电池的优势。是高转换效率硅基太阳能电池的重要发展方向之一。据招商证券报告，HIT电池结构是以N型单晶硅片作衬底，正反面个
三层薄膜(本征非晶硅薄膜、掺杂非晶硅薄膜、金属氧化物导电层TCO)。这种结构给HIT电池带来了效率高、低光衰、温度系数低、双面发电、弱光响应高等多项优势，呈现出来的结果就是，HIT电池具备更高的

薄膜代替本征微晶硅层，做出的电池效率达到14.5%，并命名为HIT。三洋将HIT注册为商标，专利保护到2015年结束。 HIT摸索：1991-2015年。海内外众多研究机构对HIT工艺进行优化，对不同的
了0.5。如今HIT是蓄势待发，而关于HIT，你知道多少?HIT问世已30年，技术积累带来突破。未来又将如何发展? 异质结电池从萌芽走向成熟 HIT萌芽：1989-1990年。日本三洋用非晶硅

、覆膜设备/沉积炉、丝网印刷机、其他炉设备、测试仪和分选机、其他相关设备电池板/组件生产设备：全套生产线、测试设备、玻璃清洗设备、结线/焊接设备、层压设备等薄膜电池板生产设备：非晶硅
车、电动高尔夫车、电动清洁车、混合动力客车轿车、太阳能电动车、轻型电动车、混合动力汽车(微混、轻混、中混、重混和插电式混合)、纯电动汽车燃料电池汽车、氢能源天然等各种新能源清洁燃料、混合动力车辆及各种

教授、博士生导师沈文忠沈文忠：非常高兴有这个机会到无锡跟大家交流，我想讲一个最近一年当中比较热门的话题就是晶硅尺寸的变化，当然尺寸的变化是大小和厚度将这么一个话题引出从我们专业角度来看电池技术
的发展，因为我们知道电池技术是我们光伏行业永恒的主题。我来自上海交通大学太阳能研究所。我想大家应该也了解过去这么几十年来我们晶硅电池一直是市场的主流，应该是市场份额大概是95%以上，95%甚至更高

异质结电池的生产工艺主要包括非晶硅层沉积、导电膜沉积、表面金属化、低温烧结等过程。其中，金属化工艺是异质结电池制备过程中最为关键的环节之一，不但要保证与硅界面有高的粘结强度和低的接触电阻，同时要为电流
输出提供高导通路，是决定电池转化效率和成本高低的主要影响因素之一。与传统晶硅电池生产工艺不同，异质结技术全部制程采用低温工艺，决定了其电极的制备工艺的不同。在电池制造商积极布局异质结技术的背景下

电池量产发挥出重大作用。在目前主流量产技术的PERC电池上，微导推出的全新单面钝化镀膜技术结合臭氧新工艺方案，可以将量产效率提高0.1%，背膜产能提升20%，单机产能提升近一倍，超过10000片/小时
功能。采用微导专利PEALD技术制备的SiO2遂穿层及原位参杂多晶硅技术具有较高的iVOC (730mv)和良好的少子寿命(1.7 ms), 显示出ALD是在今后的PERC升级TOPCON技术

硅片晶圆生产设备：全套生产线、切割设备、清洗设备、检测设备、其他相关设备电池生产设备：全套生产线、蚀刻设备、清洗设备、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、丝网印刷机、其他炉设备、测试仪和分选
机、其他相关设备电池板/组件生产设备：全套生产线、测试设备、玻璃清洗设备、结线/焊接设备、层压设备等薄膜电池板生产设备：非晶硅电池、铜铟镓二硒电池CIS/CIGS、镉碲薄膜电池CdTe、染料敏化

、渔光互补、农光互补等项目上。据了解，汉能SHJ电池采用隆基高质量n型硅片为底材，融合汉能的薄膜太阳能技术，用非晶硅氧和硅碳合金薄膜作为钝化层，以微晶硅氧合金材料作为窗口层，显著提高了开路
电压和短路电流，实现SHJ电池转换效率的稳步突破。同时，汉能SHJ电池所采用的ITO材料透明导电膜和丝网印刷电极，成本低、易采购，在降低量产成本、开拓市场等方面有着非常明显的优势。目前，汉能自主研发的SHJ技术，已经在四川双流实现量产，该技术同时具有高效和低成本优势，核心薄膜沉积设备已经完全实现国产化。

材，融合汉能全球领先的薄膜太阳能技术，用非晶硅氧和硅碳合金薄膜作为钝化层，以微晶硅氧合金材料作为窗口层，显著提高了开路电压和短路电流，实现SHJ电池转换效率的稳步突破。同时，汉能SHJ电池所采用的
首席技术官李沅民博士和徐希翔博士带领下，在非晶硅、微晶硅和透明导电氧化物薄膜领域实现了大量创新和经验积累。研发团队从一开始就以SHJ技术的大规模工业量产为目标，在量产设备上直接进行SHJ太阳电池的研发