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索比光伏网讯:岛津制作所2013年6月20日宣布，已开始面向结晶硅型太阳能电池单元制造工序中的电极印刷用途，销售电极检查设备SCI-8P。该产品融合了35m/像素的高分辨率摄像头与自主开发的图像处理
、突起，以及反射防止膜的颗粒、膜厚及分布情况等。该产品可同时进行电极检查和晶圆外观检查，而且一块晶圆的检查时间不到1秒。在太阳能电池单元检查设备置方面，岛津制作所在2013年3月推出了两款机型，一款是可

SiH4中的Si和H，以及NH3种的N形成SiNx沉积到硅表面。这种沉积系统目前主要是日本岛津公司在进行生产。间接法又分成两种：（1）微波法：使用微波作为激发等离子体的频段。微波源置于样品区域之外，先将
设备由荷兰的OTB公司生产。目前，在中国微波法PECVD系统占据市场的主流，而管式PECVD系统也占据不少份额，而岛津的板式系统只有5~6条生产线在使用。直流法PECVD系统还没有进入中国市场。除了上述

OFweek太阳能光伏网讯：针对晶体硅太阳能电池片的生产工艺，岛津制作所即将展开减反射膜成膜装置MCXS以及检查装置SCI系列2种机型的销售。目前，中国正在从确保需求和扶持本地企业等观点出发导入
。为此，岛津通过采用新开发的中空阴极等离子源和直接等离子法，成功开发出具备高产能、低运行成本，且具有更高PID耐性的减反射膜成膜装置（CVD）MCXS。本装置，通过高密度等离子修复硅片表面和内部存在的

针对晶体硅太阳能电池片的生产工艺，岛津制作所即将展开减反射膜成膜装置MCXS以及检查装置SCI系列2种机型的销售。目前，中国正在从确保需求和扶持本地企业等观点
效率在不断提高，品质管理更加严格，目前在太阳能电池板的生产工序中以人工检查为主的现状，迫切需要升级为自动化检查方式。针对上述需求，岛津新近开发了可以以1台设备同时检查硅片微裂隐裂和

电极，与样品支架形成一个放电回路，在腔室中的工艺气体在两个极板之间的交流电场的作用下在空间形成等离子体，分解SiH4中的Si和H，以及NH3种的N形成SiNx沉积到硅表面。这种沉积系统目前主要是日本岛津
占据市场的主流，而管式PECVD系统也占据不少份额，而岛津的板式系统只有5~6条生产线在使用。直流法PECVD系统还没有进入中国市场。　　除了上述几种模式的PECVD系统外，美国的Applied