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索比光伏网讯:弗罗里达州圣彼德斯堡--Sorra公司是一家领先的LED和激光技术公司，该公司最近购买了三套Plasma-Therm系统，用以在其晶圆制造工艺过程中进行等离子沉积和刻蚀步骤。Soraa
供应商，提供多种刻蚀和沉积技术。Plasma-Therm系统支持各种专业市场，如固态照明、薄膜磁头、MEMS、光掩膜和化合物半导体市场。为满足全球客户群的多元化需求，Plasma-Therm在北美、欧洲和亚太设有销售、服务和备件供应点。

PECVD的产能提升了20%，年可为企业创造效益1400万元。一种新型BSGS钢瓶锁头既提高了侦测的精度和可靠性，又增强了安全性。一种刻蚀机射频控制能够对射频功率进行在线检测，避免了人员检测不到或检测
不及时给硅太阳能电池片刻蚀时带来成本浪费，实现了射频功率输出的闭环控制系统。一种测试电池片光致衰减测试系统可统计辐照量的光致衰减，既能方便电池片出入，又能方便旋盖密封。一种特气吹扫扭力扳手将扭力扳手加力杆一侧固定氮气管道，大大增强了安全性。

领域作为市场化突破口，凭借在半导体装备领域的技术优势，他们推出高温扩散炉和等离子体刻蚀机，并逐渐垄断国内市场。到2005年现任所长唐景庭上任时，适逢国内光伏产业兴起，48所因之时来运转，成为赛维LDK
光伏产业之后的相当一段时间里，只是在高温扩散炉和等离子体刻蚀机获得迅速突破，投资比重大、也更为重要的铸锭炉和切割机等关键设备，依然是一片空白。国内光伏产业也在积聚数年后于2006年前后迅猛爆发，在此背景下

。苏州聚晶科技有限公司携领先的技术和光伏清洗设备亮相此次展览会。在展会上，聚晶将自主研发的新一代JK-湿法刻蚀硅片清洗机引进展览，第一天就吸引了大量客户商和参展商的注意和赞叹，纷纷前来驻足观摩。参展的
清洗机用于单晶、多晶电池生产线的去磷硅玻璃清洗及刻蚀工序，具有均匀精确刻蚀，传动系统专利设计，确保低碎片率、无水痕印、抽风稳定干净的特点，化学药剂消耗率低，节水性能高，同时具有完善的过程监视系统和可视化

CEC 认证等一系列认证，产品可以在欧盟、美国等地区销售。公司募投项目还引入了国内外先进的生产设备，同时采用单面制绒技术、二次扩散技术、背面刻蚀技术、二次印刷技术和二次烧结工艺技术，以提高
及各项技术指标达到或超过了同类进口设备的水平。 3、产品质量优势公司十分重视质量管理，生产和检测设备配置完善。每条生产线均配有硅片检测、清洗制绒、清洗甩干、扩散、刻蚀、去磷硅玻璃、沉积减反射膜

(金属有机化合物化学气相淀积)、退火炉等设备，再到与IC芯片工艺相类似的设备，如光刻机、刻蚀机、清洗机、蒸发镀膜等，最后到封装用的固晶机、金丝/铝丝球焊机、分选机等等，种类繁多。其中，MOCVD、等离子
刻蚀机等是技术含量很高的设备。在所有的LED设备中，没有哪一种设备像MOCVD一样，在整个LED生产设备投资中占如此大的比重。国产LED设备厂商必须从MOCVD设备开始取得突破，才能逐步向前道和后道

集团和湖南省市政府的高度重视和大力支持下，48所先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备并成功推向市场，成长为国内最大的太阳能电池制造装备
、上海空间电源所、上海交大、云南半导体厂等国内光伏行业的科研院所、高校、企业展开合作，先后推出国内首台光伏行业用高温/氧化系统、等离子体刻蚀机、PECVD、高温烧结炉等。自2002年起，又与无锡尚德等

表现。中微半导体设备有限公司 (AMEC)自从2007年在日本的SEMICON隆重推出其高端的双反应台、去耦合反应离子刻蚀设备以来，其设备已经先后进入亚洲3个地区5家最先进的芯片制造企业。据报道
，中微公司 Primo D-RIE(TM) 刻蚀机被客户用于65/45纳米及更高端制造中，而新的订单已经排到年底。AMEC成功地完成 Primo D-RIE 在亚洲市场的布局，顺利在今年3月结束4千6百万