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薄膜的厚度。然后把样品与电池结构上已蒸发的CdCl2薄层在空气氛围中进行热处理，接着在溴甲醇溶液中刻蚀。在真空室中用连续热蒸发Cu和Au制备Cu:Au背接触。最后在Cu/Au合金上刷银浆作为背电极
增加，CdTe表面在溴甲醇溶液中刻蚀后更为严重，而对于5-m厚CdTe太阳能电池来说，漏电流仅稍微增加，如图3(b)所示。化学刻蚀期间，较薄的CdTe太阳能电池中产生分流路径的可能性比在较厚的电池

)。聚合物(黄色粉末)，从而大大降低了a-Si：H薄膜的质量。此外，当气压过高时，氢等离子体的刻蚀变得更加活跃，使得SiH2结构的基团增多，SiH2基团的增多意味着有更多的晶界和微孔，它们都是类似于
效果。高氢稀释度下少子寿命降低的原因主要与外延硅的生长有关，同时氢含量越高，对硅表面的离子损伤越大，表面态密度越大，载流子复合越剧烈。适量的氢刻蚀，可以断裂弱的Si-H键和不稳定的Si-Si键，从而

。近年来，先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一装备发展到单台装备与工艺结合，又从整线装备发展到整线装备与工艺结合的整线交
太阳能光伏专用装备--刻蚀机与扩散炉，中国电科48所正式进军光伏领域，标志着我国太阳能电池专用装备进入了自主研发阶段;2006年，在国家高性能晶体硅太阳能电池生产成套技术研究项目的支持下，中国电科48所建

工作的核心位置，大力加强原始创新、集成创新和在引进先进技术基础上的消化、吸收、再创新，努力在若干重要产品领域掌握核心技术。近年来，先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉
国内80%的市场份额，得到业界的广泛认可。2001年，中国电科48所与无锡尚德太阳能科技股份有限公司合作开发太阳能光伏专用装备--刻蚀机与扩散炉，中国电科48所正式进军光伏领域，标志着我国太阳能电池专用

后进行刻蚀。在扩散过程中，硅片的周边表面也形成扩散层。周边扩散层使电池的上电极和下电极形成短路，必须将它除去。这个工序是太阳电池制作中必不可少的一步，周边存在任何微小的局部短路都会使电池并联电阻下降
，以至成为废品。本章首先对光伏" title="光伏新闻专题"光伏刻蚀技术进行了简单的介绍，并在此基础上介绍了几类典型的刻蚀清洗设备的使用和维护。5.1刻蚀技术简介5.1.1刻蚀的原理在刻蚀工艺的前一步

生产设备之一。华工激光新推出的激光刻膜机LDY1040/LDG540采用先进的激光刻蚀技术，对太阳能非晶硅薄膜电池板的电极层和发电层进行刻蚀。整机采用龙门式结构，由工作台带动电池板与激光头作相对运动。X-Y
工作台采用进口直线电机与高分辨率光栅尺组成全闭环控制系统，确保运动精度。四路精密分光系统将激光能量均分成四路输出，可同时刻蚀四路电极（见图7、图8）。图7：华工激光的激光刻膜机可同时刻蚀四路电极