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／Pd金属化电极和减反射膜等。后来的高效电池是在这些早期实验和理论基础上的发展起来的。　　单晶硅高效电池　　单晶硅高效电池的典型代表是斯但福大学的背面点接触电池（PCC），新南威尔士大学
，双层减反射膜技术的提高和陷光理论的完善也进一步减小了电池表面的反射和对红外光的吸收。低成本高效硅电池也得到了飞速发展。　　（1）新南威尔士大学高效电池　　（A）钝化发射区电池（PESC

结，绒面，氧化膜钝化，Ti／Pd金属化电极和减反射膜等。后来的高效光伏电池是在这些早期实验和理论基础上的发展起来的。单晶硅高效电池单晶硅高效光伏电池的典型代表是斯但福大学的背面点接触电池（PCC），新
金字塔技术，双层减反射膜技术的提高和陷光理论的完善也进一步减小了电池表面的反射和对红外光的吸收。低成本高效硅电池也得到了飞速发展。（1）新南威尔士大学高效电池（A）钝化发射区电池（PESC）：PESC

、银浆成分：玻璃粉、银颗粒、有机溶剂。银颗粒：主要起导电作用。玻璃粉：腐蚀硅片表面自然氧化层和减反射膜，同时起永久链接剂的作用，提高金属粉末烧结和金属层与硅片之间的黏结性。有机溶剂：分散金属和胶联成
在减反射膜表面聚集；3玻璃料腐蚀穿过减反射膜；4玻璃料通过与Si发生氧化怀远反应产生腐蚀坑；Pb+SiPb+SiO25银颗粒在冷却过程中于腐蚀坑处结晶：（1）与PbO和Si发生的氧化还原反应类似，玻璃

腐蚀或磨片法除去背面PN+结。(7)制作上下电极：用真空蒸镀、化学镀镍或铝浆印刷烧结等工艺。先制作下电极，然后制作上电极。铝浆印刷是大量采用的工艺方法。(8)制作减反射膜：为了减少入反射损失，要在硅片
表面上复盖一层减反射膜。制作减反射膜的材料有MgF2，SiO2，Al2O3，SiO，Si3N4，TiO2，Ta2O5等。工艺方法可用真空镀膜法、离子镀膜法，溅射法、印刷法、PECVD法或喷涂法等。(9

科技股份有限公司研发总监。　　摘要：本文针对目前国内在太阳能电池行业使用管式PECVD沉积氮化硅减反射膜时为了实现均匀性而随意调整工艺气体流量而做出实验性分析，避免在工艺过程中发现电池转换效率下降了而难以找到原因
。通过改变工艺气体的流量，对各项技术指标进行测量分析，结合国内外的一些文献，得出了工艺气体流量对氮化硅膜的直接影响，同时也直接导致了电池转换效率的变化。通过这些研究为制备高性能电池减反射膜提供实验基础，为