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化学气相沉积技术(APCVD)和离子束辅助沉积技术制备a-Si:H也有研究。目前，HIT电池的电极目前主要采用丝网印刷低温Ag导电浆实现的，降低电极的丝网印刷电阻和细化金属线是实现太阳能电池低成本
、高效率的关键。 HIT电池工艺流程 HIT电池技术金属化(银浆)发展研究 1HIT电池金属化的核心要求 HIT电池因为其特殊的晶硅/非晶硅界面态钝化结构，对设备、工艺、环境、操作水平等要求

双面产品仅在电池的丝网印刷工序做了调整和优化，因此成本基本同PERC单面产品。相比于常规单/多晶以及PERC单晶，P型PERC双面组件可有效降低光伏电站的LCOE，以10%发电增益的双面组件为例
，继PERC电池成为行业热点后，HIT电池技术初有突破，性价比优势开始显现，未来将是P型PERC电池与N型HIT电池争霸光伏产业的时代。 HIT目前最大的障碍来自于关键设备为实现国产化，但中国制造

转换效率达到了19.1%，背面转换效率为18.1%。世界各国研究人员陆续在钝化、丝网印刷、掺杂扩散等技术方面取得进展，实现了双面光伏组件的工业化生产。目前市场上的双面光伏组件主要有单晶 n型双面
依次沉积厚度为5～10 nm 的i-a-Si:H 薄膜、n 型非晶硅薄膜(n-a-Si:H)形成背表面场。在掺杂a-Si:H 薄膜的两侧，再沉积透明导电氧化物薄膜(TCO)，最后通过丝网印刷技术在两侧

来源：摩尔光伏摘要：优化设计太阳电池的电极图形可以获得高的光电转换效率。文中以实例介绍了晶体硅太阳电池上丝网印刷电极的优化设计，讨论了电池的功率损耗与扩散薄层电阻及细栅线宽度的关系，在原始设计的
。采用丝网印刷，电极材料为银浆，其体电阻率为3.0.cm，焊带体电阻率为2.0.cm。在AM1.5光谱下，电池的最大功率点电压Vmp为0.525V，电流密度Jmp大约为34mA/cm2。细栅线厚度为

载流子复合，提高表面钝化效果; (3)增强电池短波光谱响应，提高短路电流和开路电压。目前选择性发射极的主要实现工艺有氧化物掩膜法、丝网印刷硅墨水法、离子注入法和激光掺杂法等，其中激光PSG掺杂法由于
其工艺过程简单，从图1可以看出从太阳电池常规产线升级成激光掺杂选择性发射极太阳电池生产线，工艺上只需增加激光掺杂一个步骤，从设备上来说，只需增加掺杂用激光设备，与常规产线的工艺及设备兼容性很高，是行业

太阳电池对杂质的容忍度要明显大于P型硅电池。但从P型电池工艺的丝网印刷来看，N型电池在转换效率上一些关键工艺还有待解决，而且制造成本也没有优势。 2)优化减反膜。 Kang研究发现，虽然采用沉积
激磁电源并配置磁场设备，增加了工艺难度与生产成本。降低硼的掺杂浓度，使用得到的高阻材料制作电池(如5-10cm)，但在制作背场时需要较高的工艺要求。 5)采用区熔单晶硅技术。区熔单晶硅技术不仅

、扩散、刻蚀、PECVD镀膜及丝网印刷都在同一条生产线上完成，考虑到设备，人为操作及环境等因素的影响并不能完全保证电池片的均一性，所以Si、P和Ag含量差别在一定范围内是允许的。由于Bi元素来源于印刷电极
摘要：p型单晶硅太阳电池在el检测过程中，部分电池片出现黑斑现象。结合x射线能谱分析(eds)，对黑斑片与正常片进行对比分析，发现黑斑片电池与正常电池片大部分表面的成分相同，排除了镀膜及丝网印刷

判断设备是否能改装成现代大规模生产平台，最重要的是持续提升电池性能和测试电池的可靠性，到目前为止我们进行了多次实验并总共制造了超过100,000片电池。本研究工作中报告的商用版本丝网印刷PERC电池展现
与丝网印刷电池制造平台兼容。当然，正确选择沉积方法和设备，包括激光消融设备以及将它们顺利地集成到现有电池生产线中，同时优化工艺参数，是能大规模制造PERC电池时的关键所在。幸运的是，得益于高产

、丝网印刷、烧结等技术。图一单面PERC电池结构 PERC电池的技术发展自2015年PERC电池逐步市场化以来，截止2016年底，全球PERC产能约为13.4GW，产量达到8GW左右;预计
设备多晶PERC的光衰机理更为复杂。目前认为，多晶PERC的光衰与电池的热过程密切相关，因此也称为光照热衰减(Light elevated Temperature Induce

，中来N型双面TOPCon电池背面采用多晶硅隧穿电极接触结构，正反两面均由覆盖SiNx减反膜，金属化由丝网印刷完成，由于两面栅线结构都是常规的H型，因此TOPCon电池不仅正面可以吸收光，其背表面也能从
到产线、设备投资，多方面掣肘了IBC的降本之路。也因为如此，在全球太阳能领域以IBC技术著称的SunPower尽管耕耘中国市场多年，却始终无法深度参与其中。中来股份借助多年的研发经验，其一期3GW

( 制绒- 扩散-刻蚀- 正面PECVD- 丝网印刷) 制作，另外100片按照前文所述的PERC 电池流程制作;同时，保证在电池片制作过程中都选用同种设备进行，以减小误差。制作结果如表1 所示，PERC
制作流程一般为：制绒- 扩散-刻蚀-ALD- 正面PECVD- 背面PECVD- 激光开槽- 丝网印刷。随着PERC 电池的量产，在EL测试中，EL 测试仪总能测出正面发暗的电池片，如图2 所示

，相比于PERC单面产品，PERC双面产品仅在电池的丝网印刷工序做了调整和优化，因此成本基本同PERC单面产品。相比于常规单/多晶以及PERC单晶，P型PERC双面组件可有效降低光伏电站的LCOE，以10
电池与N型HIT电池争霸光伏产业的时代。 HIT目前最大的障碍来自于关键设备为实现国产化，但中国制造2025扶持的就是中国装备制造业，可见的短期未来在装备制造领域我们必将持续的、深入的不断获得更了不起

绒、扩散、刻蚀、PECVD镀膜及丝网印刷都在同一条生产线上完成，考虑到设备，人为操作及环境等因素的影响并不能完全保证电池片的均一性，所以Si、P和Ag含量差别在一定范围内是允许的。由于Bi元素
p型单晶硅太阳电池在el检测过程中，部分电池片出现黑斑现象。结合x射线能谱分析(eds)，对黑斑片与正常片进行对比分析，发现黑斑片电池与正常电池片大部分表面的成分相同，排除了镀膜及丝网印刷过程中

载流子复合，提高表面钝化效果; (3)增强电池短波光谱响应，提高短路电流和开路电压。目前选择性发射极的主要实现工艺有氧化物掩膜法、丝网印刷硅墨水法、离子注入法和激光掺杂法等，其中激光PSG掺杂法由于
其工艺过程简单，从图1可以看出从太阳电池常规产线升级成激光掺杂选择性发射极太阳电池生产线，工艺上只需增加激光掺杂一个步骤，从设备上来说，只需增加掺杂用激光设备，与常规产线的工艺及设备兼容性很高，是行业

、扩散、刻蚀、PECVD镀膜及丝网印刷都在同一条生产线上完成，考虑到设备，人为操作及环境等因素的影响并不能完全保证电池片的均一性，所以Si、P和Ag含量差别在一定范围内是允许的。由于Bi元素来源于印刷
摘要：p型单晶硅太阳电池在el检测过程中，部分电池片出现黑斑现象。结合x射线能谱分析(eds)，对黑斑片与正常片进行对比分析，发现黑斑片电池与正常电池片大部分表面的成分相同，排除了镀膜及丝网印刷

操作手法，操作工序设备等有关，较难避免。 2.2工艺污染在PERC电池制备工程中，由于电池片清洗不干净、吸盘接触、导条接触、花篮接触、人员接触、粉尘沾污等等。 3PERC电池EL缺陷成因分析
3.1PERC电池工艺流程及相关设备 PERC电池主要工艺流程包括9个方面:一是去切割损伤和制绒生成金绒面，在此工艺环节所用到的主要设备为捷佳创单晶槽式制绒;二是扩散生成PN结，在此工艺中所涉及设备为

公斤以下。 丝网印刷线原来国内电池片印刷线的供应商主要集中在BACCNI、ASYS、DEK等外国企业手里，尽管说性能上较有优势，但价格也是高的一塌糊涂。2012年前后，以苏州迈为为代表的国内设备
制造商开始试图超越，经过多年的励精图治，近几年几乎拿下了国内所有新上电池产线丝网印刷机的订单，价格也比进口设备降低了1/3以上。系统应用汉能：全球CIGS柔性薄膜应用技术的集大成者，其BIPV