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，然后采取两步单独的扩散过程来形成p型区和n型区。第二个关键工艺在于丝网印刷的对准精度问题和印刷重复性问题，因此对电池背面图案和栅线的设计要求非常高，必须在工艺可靠性和电池效率之间找出平衡点。目前
IBC电池P-N结和电极全部在背面，完全消除了前表面栅线的遮光，量产平均效率可达23%。但IBC电池对硅片质量要求高，且制程相对复杂，因此成本高昂。使用工业化技术例如丝网印刷、管式扩散或离子注入来降低

结的专用设备为管式扩散炉。管式扩散炉主要由石英舟、废气室、炉体和气柜等部分构成。工业生产一般使用三氯氧磷液态源作为扩散源。把P型硅片放入扩散炉的石英容器内，使用小股的氮气携三氯氧磷进入石英容器，在高温
的均匀性，为晶硅太阳电池效率进一步提升奠定了基础。由于扩散方阻均匀性的提高，装片石英舟槽间距设计可降为标准值的一半左右，这样可以在设备体积不变的情况下将产能提高1倍。此外，低压扩散过程中化学品的利用

摘要针对晶体硅太阳电池缺陷的检测问题，利用多种测试设备(EL、PL、Corescan等)，在电池制作的主要工序段(扩散、镀膜、印刷、烧结)对硅片和电池片进行检测，归纳和总结了电池的各种典型缺陷的
光电转换效率，导致公司增加经济损失。利用多种测试设备如EL、PL、corescan等检测硅片、半成品电池及成品电池存在的各种隐形缺陷，改善工艺参数，降低产品的不合格率，为公司提高成品率，大大的降低成本

近日，全球领先的光伏研究机构Imec(比利时微电子研究中心)宣布，最新一代大面积丝网印刷单面nPERT电池的转换效率达到了23.03%，已经通过弗劳恩霍夫太阳能系统研究所认证。Imec表示，预计
今年年底，nPERT技术的效率会达到23.5%，且该技术清晰的路线图指向的最终效率会超过24%。 Imec利用太阳能行业兼容设备和工艺在试生产线上生产了M2尺寸的nPERT电池(面积

异质结电池三大类。其中，N-PERT和N-PERL电池结构简单，效率提升潜力大，可双面发电。目前，英利、中来、林洋、LG等已实现了N型单晶双面高效电池的量产。IMEC近期也宣布，其最新一代大面积单面丝网印刷
高，且制程相对复杂，因此成本高昂。使用工业化技术例如丝网印刷、管式扩散或离子注入来降低IBC电池成本。2018年初，天合光能6英寸IBC电池实现全面积效率高达25.04%。今年8月，黄河水电200兆瓦

PVSEC大会上，Imec宣布，最新一代大面积单面丝网印刷背面发射极nPERT电池的转换效率达到了23.03%，已经通过弗劳恩霍夫ISE研究所认证。 Imec高级研究员Loic Tous指出
，到目前为止，nPERT太阳能技术在业内并未获得应有的关注。我们不断改进从双面nPERT项目中获得的知识以发挥nPERT技术的潜力。在使用相同设备和增加硼扩散工艺的情况下，与p型PERC电池相比，这种技术

和氮气两种不同环境中、不同退火时间内在PECVD管内完成退火工艺。测试其退火热处理前后载流子少子寿命，并观察其对丝网印刷效率等工艺参数的影响。 2.1实验原料及仪器实验所选硅片导电类型为P型
多晶硅片，电阻率为1～3cm，厚度为(20020)m，硅片尺寸为156mm156mm。氮化硅薄膜制备设备采用德国Centrotherm公司生产的管式低频PECVD设备，利用SE400advPV型椭偏仪测试

丝网印刷法等。现在研究最广泛、制备出电池效率比较高的是共蒸发和溅射后硒化法，被产业界广泛采用。后几种属于非真空方法，实际利用还有很多技术问题要克服，下面分别论述。 2.1 几种非真空方法
剂柠檬酸钠的水溶液，在镀 Mo 薄膜的钠钙玻璃衬底上，采用恒电位电沉积方法制备出太阳能电池薄膜材料 CIS 和 CIGS 薄膜。电化学法是非常有竞争力的方法之一，它的制备设备简单，对原料的纯度

版。多主栅技术在电池制造环节依然采用丝网印刷工艺，但由于栅线的宽度受制于网印的工艺，因此需要新的网版。组件层面：需搭配自动汇流焊接设备。在组件制作环节，多主栅技术基本上不需要增加
土地、支架、人工等，占比约20%;3) 与功率无关的BOS成本，如逆变器、升压设备，占比约30%。因此，组件功率的提升可以通过摊薄BOS成本来实现系统单位投资的降低。测算显示，60片组件的

和氮气两种不同环境中、不同退火时间内在PECVD管内完成退火工艺。测试其退火热处理前后载流子少子寿命，并观察其对丝网印刷效率等工艺参数的影响。 2.1实验原料及仪器实验所选硅片导电类型为P型
多晶硅片，电阻率为1～3cm，厚度为(20020)m，硅片尺寸为156mm156mm。氮化硅薄膜制备设备采用德国Centrotherm公司生产的管式低频PECVD设备，利用SE400advPV型椭偏仪测试

生产过程中，PERC电池钝化膜损伤及各种EL缺陷等造成成品率下降颇为严重。本文通过对PERC电池片生产工艺、设备、生产管理上探究一定优化解决方案。 1PERC电池片与常规电池片简介常规电池采用
可能不影响整体效率，但从EL照片看会出现划痕阴影，归为次品，有些企业这种因划伤造成的EL次品会达20%～30%。划痕产生原因与在工艺过程中蹭片，工人操作手法，操作工序设备等有关，较难避免。 2.2工艺

少子寿命，使得短路电流、开路电压和填充因子都能得到较好的改善，从而提高转换效率。 SE技术的主要工艺包括激光掺杂、离子注入、有氧化物掩膜法、丝网印刷硅墨水法等，其中激光掺杂工艺过程简单，只需增加掺杂
用激光设备，与常规产线的工艺及设备兼容性很高，是目前比较主流的工艺。据了解，目前一线电池片企业如爱旭、晶科、隆基、天合等等都采用了一定规模的SE技术，根据统计目前市场上SE电池的有效年产

制造成本，减少正银用量成为太阳能电池片生产商、导电浆料供应商以及设备制造商共同需要解决的问题。在三方努力下，设备进一步更新、导电浆料进一步升级，大幅降低正银用量的超细、多主栅技术开始走到台前。晶硅
太阳能电池正面采用丝网印刷银细栅线和主栅线，主栅起到将电池体内产生的光生电流引到电池外部的作用。主栅数量的增加可以缩短电流在细栅上的传导距离，有效减少电阻损耗，提高电池效率，从而提升组件功率输出。根据

主要因素. 本文着重阐述利用正常生产线的普通机台，无需额外增加机台，同时通过在扩散设备引入大量程氧气流量计，可以在较低的温度以及较短的时间内获得比较理想的SE结构，具体流程为制绒富氧扩散丝网印刷腐蚀浆料
摘要：当前选择性发射(SE)电池已经在许多公司大规模量产，形成SE结构的技术方案有很多，但大多数都要求配套相关的新设备与辅材.投资成本巨大，高能耗，工艺整体耗时长已经成为制约SE电池大规模推广的