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，一般来说是化学气相沉积技术或通过原子层沉积，而铜铟镓硒层是利用合金靶材以短周期溅射沉积，其制程改善一般硒化太阳能电池所需要的长时间。使用 Midsummer 先进太阳能电池片生产线，电池片可在
项目、中科院创新项目及中科院B类先导专项的资助和支持。相关研究结果发表在Nature Publishing Group（NPG）旗下期刊Scientific reports（2013， 3

外，还能吸收能量并形成大量的活性基团(Radicals)，其电离反应式一般可写为：式中A2表示电离气体，A+为正离子，e为电子，A为化学性质很活泼的自由基。②自由基和被刻蚀材料之间的化学反应对材料产生
等离子体刻蚀的几种基本方法示意图。(a)溅射法是由于能量离子的撞击而引起表面物质的原子急速蒸发和向外喷射的纯物理过程，这种方法选择性差，易引起器件损伤。(b)化学法是在化学方法刻蚀中，等离子体使中性原子基活化