填补国内空白
国内首条电子级多晶硅生产线的出现,经历了近10年的时间。
据黄河公司新能源分公司总经理刘刚介绍,“黄河水电多晶硅”的研发工作正式开始于2006年,于2010年全面投产,形成的2500吨高纯电子级多晶硅产能,填补了国内空白,目前国内市场占有率达10%。2015年,黄河水电多晶硅完成国家科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》(即“02专项”)全部技术指标要求。
“黄河水电多晶硅”采用改良西门子法,年产达2500吨电子级多晶硅,实现完全闭路循环,节能低耗、安全环保,其氧含量<0.02ppma,碳含量<0.02ppma,受主杂质<0.03ppba,施主杂质<0.05ppba,基体总金属杂质<2ppbw,经第三方权威检测机构检测,产品质量与德国、日本知名多晶硅质量相当。
“攻克电子级多晶硅的关键要素包括很多方面,对工艺、设备管道选型、仪表选型、洁净室等级都有严格的要求,在施工及检修时,需要按照最高洁净等级规范,在原辅材料、中间产品、辅助气体和介质方面也要进行完善的质量体系控制。”刘刚补充,“每一个细小环节都需要长期的实验积累有效的数据,从中找出制约质量提升的因素。”
来自重庆的某下游企业负责人告诉记者:“设备可以阶段性引入,但材料必须是连续性的,我们曾遇到过某外国厂商的突然断供,造成了很大损失。如果关键材料可以实现国产化,我们可以减少很多后顾之忧。”
步入新阶段
电子级多晶硅国产化,率先在青海取得突破,一部分源于地缘优势。
“十二五”以来,青海省形成了“以硅为主、多元发展、集中布局”的产业格局。青海省副省长王黎明强调:“青海将进一步加快技术创新,努力打造国内重要的集成电路硅材料产业基地,走出一条既符合国家战略、又切合青海实际的绿色发展之路。在保护生态环境的前提下,坚定不移打造千亿元新材料产业链。”
据了解,青海已建成晶硅产能17500吨,2016年该省共生产单晶硅2635吨,多晶硅14228吨。
随着《国家集成电路产业发展推进纲要》、《中国制造2025》、《工业强基工程实施指南(2016-2020年)》等一系列政策的出台,我国电子级多晶硅的发展步入新阶段。在政策环境利好下,黄河公司总经理魏显贵表示,将致力于核心技术研发和质量提升,努力将国内电子级多晶硅市场占有率提升至30%以上。
“黄河水电多晶硅” 打响了民族品牌,在价格上也几乎与进口产品持平。“多晶硅国产化才刚刚起步,我们将进一步提高智能化制造水平和生产控制能力,确保产品稳定性,力拼工艺研发,发展才有持续性。”刘刚说。
电子级多晶硅国产化要协同发力(短评)
电子级多晶硅行业上下游之间的发展关系可以用“皮之不存,毛将焉附”形容。
我国将集成电路作为基础性和先导性产业,附加在全行业中的关键性作用愈加凸显,电子级多晶硅作为国家发展集成电路产业的战略原材料,已成为我国发展集成电路产业的重要支撑。我国半导体行业市场目前位居全球第一、增速也位居全球第一。但是,我国集成电路产业与先进产业国之间的差距较大,大尺寸晶圆的生产研发才刚刚起步,集成电路核心技术研发和关键元器件制造还面临巨大的挑战。
局部的突破不代表整个电子级多晶硅全产业链上的突破。以点带面,求得全面突破才是众望所归。着力培育龙头企业,力求产业链协同创新,加快推广应用,完善产业环境,调动用户企业积极性等显得尤为迫切。
电子级多晶硅实现“中国造”,为行业发展树立了新的里程碑,而为了早日实现其全产业链“中国造”,则需要上下游企业协同发力,在技术、融资、人才、项目合作等多领域,推进全产业链的进步。