西门子化学气相沉积反应器
西门子法核心是三氯氢硅与高纯氢气 在钟罩式还原炉内发生化学气相沉积反应还原生成多晶硅，该工艺还包括硅粉和氯化氢合成三氯氢硅、二氯二氢硅与四氯化硅反歧化、四氯化硅冷氢化以及还原尾气回收。二氯二氢硅和
化学气相沉积(还原)等几个主要的工艺操作组成，如图1工艺路线，反应器如图2所示。后来因为主要的技术冷氢化、精馏和化学气相沉积，技术在中国保护期限到期，各大厂商对工艺进行优化和升级。 图1改良
)反应形成三氯氢硅(SiHCl3)，经进一步分离提纯后进入还原炉与氢气发 生化学气相沉积反应，在硅棒表面形成高纯多晶硅。同时改良西门子法还引入尾气回收和 四氯化硅氢化工艺，实现了生产过程的闭环循环
Trichlorosilane/TCS 分子式 SiHCl3)，用西门子公司发明的钟罩式还原炉(化学气相沉积法(CVD)还原炉)，炉里倒插上一根根像很长的大音叉的硅芯，再盖上大钟罩。 三氯氢硅通过管道导入
Hemlock Semiconductor(HSC)是一家致力于为电子和太阳能行业提供高纯度多晶硅的可靠供应商。Hemlock的工艺从天然高纯度石英岩开始，它被加工成硅基化学品三氯氢硅。使用化学气相沉积
Hemlock Semiconductor(HSC)是一家致力于为电子和太阳能行业提供高纯度多晶硅的可靠供应商。Hemlock的工艺从天然高纯度石英岩开始，它被加工成硅基化学品三氯氢硅。使用化学气相沉积反应器
相沉积反应器技术工艺，将三氯氢硅转化为纯度高达99.999999999%的高纯度多晶硅。 多晶硅工艺流程来源：美国Hemlock挪威REC REC于1996年12月在挪威成立
概述。晶硅技术依然主导着太阳能电池的生产，超过90%的太阳能电池板使用该原材料，而且这种情况看来不会发生变化。对于硅材料生产商而言，西门子化学气相沉积（CVD）反应器依然是主流，而流动床反应器（FBR
多晶硅替代生产技术做了概述。晶硅技术依然主导着太阳能电池的生产，超过90%的太阳能电池板使用该原材料，而且这种情况看来不会发生变化。对于硅材料生产商而言，西门子化学气相沉积(CVD)反应器依然是主流，而
生产商而言，西门子化学气相沉积(CVD)反应器依然是主流，而流动床反应器(FBR)则成为了商业生产中应用的另一种技术。 本市场报告包括了在这一领域的七家领先的设备供应商的产品，调查了他们提供的西门子
