TOPCon叠层

技术，CIGS共蒸发技术，小尺寸组件的转换效率：1cm2电池转换效率达到21.0%，硅基薄膜生产设备以及流程，柔性光伏组件，透明导电氧化玻璃(TCO，掺杂或本证氧化锌膜层)镀膜工艺。PECVD，PVD和低压
太阳能电池组件、太阳能光伏发电以及光热一体化产品。冷氢化、三氯氢硅合成、反歧化、大型节能精馏、高效还原等核心技术,N型单晶。 中来股份 5GW的N型双面电池，N型双面Topcon(隧穿氧化钝化

良好的传导性，因而TOPCon电池具有高的开路电压和填充因子。2015年FraunfhoferISE采用N型区熔硅片，正面采用金字塔制绒，硼扩散，氧化铝加氮化硅叠层膜起钝化和减反作用，背面采用
TOPCon技术，正反面金属化均采用蒸镀Ti/Pd/Ag叠层结构，该电池效率达到24.9%。目前，TOPCon技术仍处于实验室研发阶段，英利率先将该技术应用于N型电池产线，制备出效率大于21.5%的高效率低成本

。 ◎叠层钝化 热生长的SiO2由于其良好的致密性，具有很好的表面钝化作用，而等离子体增强化学气相沉积法沉积的SiNx薄膜对硅片的表面和体内都有一定的钝化作用。由于波长较短的光在电池表面很小的薄层
太阳电池采用了SiO2/SiNx叠层的钝化结构，对晶体硅太阳电池进行了有效的表面钝化和体钝化显著增大了太阳电池的短路电流和开路电压，进而提高了太阳电池的转换效率。目前叠层钝化已是晶体硅太阳电池研究的一个

单晶电池(HBC)实现了26.6%的光转化效率;弗劳恩霍夫太阳能系统研究所(ISE)使用等离子表面制绒技术以及隧道氧化层钝化接触(TOPCon)技术，实现多晶转换效率达22.3%。 上述世界效率纪录的
;氮氧化硅(SiONx)早期Solar Word以及现在的爱旭、润阳等;氧化铝(AlOx)现在主流厂家都采用氧化铝和氮化硅叠层膜的背钝化膜结构。 氧化铝和氮化硅叠层膜叠层结构作为P型PERC背面

SiO2隧穿氧化层实现如图4所示，具有很好的选择性，而多晶硅层由于采用晶化处理，此钝化结构具有很好的热稳定性。TOPCon全接触钝化的创新结构，克服了背面金属区接触复合较高的问题，利用一层超薄氧化层