TCO

在硅片端结合吸杂技术，减少金属杂质带来的缺陷;CVD工序采用微晶工艺结合绒面织构化界面优化技术;TCO工序通过在透明导电薄膜生产过程中的水汽控制、工艺参数优化、高迁移率靶材的使用，增加透光性、降低接触

上采用非晶硅沉积的方式形成异质结并作为钝化层。这种结构的电池具有较高的开路电压和效率，同时最外一层有TCO透明导电层。异质结电池的工艺采用低温工艺，便于采用更薄的N型硅片，使未来有比较大的硅片成本下降

、PVD镀膜、丝网印刷、测试分选和包装入库等步骤。其中，PEVCD镀膜和PVD镀膜是关键步骤，分别用于沉积本征非晶硅薄膜和掺杂非晶硅薄膜，以及沉积TCO透明导电氧化薄膜。由于TOPCon电池的生产流程相对

减排超过 5万 tCO2e，累计节水1234.35 万吨，整体用水同比下降23.67%。聚焦光伏助力零碳社会光伏发电作为绿色、高效的新能源，是能源转型的主要趋势和解决方案，是实现碳中和目标

、光学镀膜等产品的生产。此外，它也被应用在异质结电池制程的第三个环节，即通过PVD设备，利用磁控溅射原理，将靶材(ITO)沉积到硅片表面，制备双面一致的透明导电膜(TCO)。然而，作为一种稀有金属，铟的
价格较高，因此，为了促进异质结技术的降本增效产业化发展，迈为股份从设备端与工艺端等方面“多管齐下”，持续推动异质结TCO的低铟方案，努力降低异质结电池对铟的依赖，避免制造端被其掣肘。以下为您介绍迈为的

光电瞄准前沿，积极研发HJT高效电池装备，深度布局钙钛矿电池工艺路线，核心工艺技术取得重大突破，开发了低阻高透TCO 复合薄膜、旋转磁控阴极等技术，推出了大产能异质结专用PVD设备;推出的系列高端装备

、通威股份、东方日升等。多家机构认为，钙钛矿产业化进程持续加速，未来2-3年各企业百兆瓦中试线及GW级量产线有望加速落地，PVD/RPD设备、激光设备厂商、TCO玻璃等环节将显著受益。

工艺设备研制并形成量产能力，相关设 备是 HJT 电池片生产线的核心工艺设备之一，主要通过磁控溅射技术在非晶硅 钝化异质结电池正背面沉积 TCO 透明金属氧化物导电膜。据了解，金辰股份主要