TCO导电

均匀性薄膜层的PECVD设备，以及一个新型PVD系统，采用反应等离子技术，提供具有更高导电性及更高透明度的高均匀性透明导电氧化物(TCO)层，称将效率提高1%，使得电池转换效率超过23

的透明导电膜层(TCO)，除了有效提升HJT电池效率1%，亦可提供客户在使用氧化铟锡(ITO)靶材镀膜之外，有更多样化TCO材料的选择，帮助进一步提升效率与降低生产成本。近年来，在以高效电池技术降低

为20nm厚的本征a-Si：H和N型a-Si：H层，在钝化表面的同时可以形成背表面场。由于非晶硅的导电性较差，因此在电池两侧利用磁控溅射技术溅射TCO膜进行横向导电，最后采用丝网印刷技术形成双面电极

有很好的钝化作用。 由于非晶硅几乎没有横向导电性能，因此必须在硅表面淀积一层大面积的透明导电膜（TCO）以有效地收集电池的电流。2003年时，这种电池的量产销率达到了19.5%。2009年5月，据

60兆瓦增加到120兆瓦。作为交易的一部分，两个公司将延长其工程服务协议。Avaco公司提供6个热处理炉用于吸光层形成工艺，两个透明导电氧化物（TCO）沉积设备。该系统将允许Stion公司消除生产线

，使生产量从年产60兆瓦增加到120兆瓦。作为交易的一部分，两个公司将延长其工程服务协议。Avaco公司提供6个热处理炉用于吸光层形成工艺，两个透明导电氧化物（TCO）沉积设备。该系统将允许Stion

表面复合速率和740mV的潜在开路电压(iVoc)值。另外，通过RPD设备沉积透明导电氧化层，可以同时得到优越的光学特性和电学特性，提升了器件的电流密度（Jsc）和填充因子（FF），这主要归功于其具有
较高的载子迁移率和较低的自由载子浓度（FCC）。结合PECVD技术良好的表面钝化效果和RPD制备TCO的优异表现，我们初步在六英寸电池片上得到了大于21%的转换效率。 关键词：硅异质结太阳能电池

新能源领域，超白太阳能光伏玻璃、薄膜太阳能电池用TCO导电膜玻璃、镀膜玻璃等新技术的研发和产业化方面成绩斐然，建成数十条超白太阳能光伏玻璃生产线，使中国太阳能光伏玻璃成本极大降低，技术处于世界领先

，获得国家科技进步二等奖2项。在新能源领域，超白太阳能光伏玻璃、薄膜太阳能电池用TCO导电膜玻璃、镀膜玻璃等新技术的研发和产业化方面成绩斐然，建成数十条超白太阳能光伏玻璃生产线，使中国太阳能光伏玻璃成本极大降低，技术处于世界领先水平，从此不用进口并出口欧美、日本，催生了一个平板玻璃服务于新能源的新产业。

光伏薄膜组件转化率的世界纪录。 近年来，蚌埠玻璃工业设计研究院致力于发展新玻璃、新材料、新能源、新装备四新产业，获得国家科技进步二等奖2项。在新能源领域，超白太阳能光伏玻璃、薄膜太阳能电池用TCO
导电膜玻璃、镀膜玻璃等新技术的研发和产业化方面成绩斐然，建成数十条超白太阳能光伏玻璃生产线，使中国太阳能光伏玻璃成本极大降低，技术处于世界领先水平，从此不用进口并出口欧美、日本，催生了一个平板玻璃服务于