RPD

2025年2月10日武汉大学肖旭东&宫俊波于AM刊发反应性等离子体沉积ITO作为反式钙钛矿太阳能电池的有效缓冲层的研究成果，本研究展示了反应性等离子体沉积(RPD)在制造氧化铟锡(ITO)方面作为

，2023 - 2024年上半年热度较高，目前部分企业持观望态度。工艺路线上，钙钛矿单结工艺逐渐趋同，涉及相关设备主要包括涂布机、PVD(磁控溅射类、蒸镀类、RPD)，ALD，激光等;叠层工艺路线具有

量产电池生产要求配置人员和运作，现场设备数量多达20余台(套)，包括钙钛矿涂布设备(针对TCO玻璃、晶硅等基底)、多元共蒸镀设备、激光划线设备、PVD、RPD、ALD等核心工艺设备。所有设备均为

和服务，设备种类涵盖RPD、PVD、PAR、CVD、蒸发镀膜及精密狭缝涂布、晶硅叠层印刷等。值得一提的是，捷佳伟创的RPD设备已在该客户的钙钛矿研发线上投入使用，助力客户在钙钛矿组件上实现了超过19%的第三方认证转换效率。

薄膜电池与叠层电池量产装备报 告 简 介捷佳伟创提供多种钙钛矿研发、中试与量产整线装备，如低轰击与低温制备SnO2的RPD、溅射ITO, Cu, NiO与共蒸镀模块结为一条龙的团簇式真空镀膜装备，让

式PECVD、管式LPCVD、管式PEALD、管式ALD、管式Diff/Oxide/Anneal。板式设备：板式PECVD、板式Cat-CVD、板式RPD、板式PVD、板式PAR、板式ME。(PPT
膜叠加，把效率进一步推升。第三，创新整合型量产设备-MAR，PAR。不管是蒸镀、PVD还是RPD，设备架构都一样，只有工艺腔体是不同的，所以未来在叠层电池的发展上，只要工艺有需求，我们就可以把两个不同

近日，公司五合一团簇式钙钛矿叠层真空镀膜装备成功下线，并且获得客户FAT验收通过后顺利出货。五合一团簇式钙钛矿叠层真空镀膜装备将对薄膜制备领域产生重大影响。这项革命性的技术整合了RPD、多源蒸镀
光电子学等领域的研究提供了一个强大的装备支撑。五合一团簇式钙钛矿叠层真空镀膜装备具备以下特点：多技术合一该款设备将RPD、多源蒸镀、RF溅射、脉冲直流溅射和直流溅射等多种技术相结合，实现了真空环境中的薄膜

HJT的产业化发展。公司在湿法设备、PECVD/CAT-CVD、PVD/RPD/PAR、丝网印刷/铜电镀/新型组件焊接设备方面进行深入研究，具备HJT电池整线交钥匙工程的能力。公司近期已中标全球头部