PVD
、半导体精密装备先进技术研究院等研发平台资质。公司突破了异质结电池装备领域多项“卡脖子”关键技术，包括核心工艺环节的Inline多腔体准动态PECVD镀膜技术、分层高品质非晶硅钝化镀膜技术、全自动双面PVD
大致分为LPCVD本征+磷扩(低压力化学气相沉积法)、PECVD原位掺杂、PVD原位掺杂(即物理气相沉积法)。要做TOPCon，钝接结构制备是基础，但要做好TOPCon，正面硼扩散是相关企业要解决的
目前已与国内大型央国企、民营企业和知名高校科研机构累计完成近200个单体工艺设备交付，产品包括涂布机、刮涂机、激光刻蚀机、PVD和ALD等。
的产业痛点。一年后，晋能科技光伏技术团队与中国电子科技集团等单位合作完成国内首台异质结大产能PVD设备的开发;2021年，晋能科技与金辰机械合作开发应用于异质结电池生产的大产能PECVD设备，在产品
/Si异质结叠层电池实验室效率世界记录已达31.3%。钙钛矿太阳能电池的主要工艺为涂布及PVD，生产流程比晶硅类大幅简化，预计2030年钙钛矿太阳能电池设备市场空间约805亿元。BIPV领域是钙
产业化项目各一项，进一步奠定了我们公司在钙钛矿等泛半导体行业高端装备的行业影响力。公司目前已经完成平米级大面积产业化2项，3个平米级产业化项目正在交付中，已与国内大型央国企/民营企业和知名高校科研机构累计完成近200个单体工艺设备交付，包括涂布机、刮涂机、激光刻蚀机、PVD和ALD等。
累计完成近200个单体工艺设备交付，包括涂布机、刮涂机、激光刻蚀机、PVD和ALD等。近年来，锡山积极把握双碳重大机遇，加快推进新能源产业发展。目前开发区集聚了35家规模以上新能源企业，其中风电企业6家
改造的性价比更合适；在设备选择上，TOPCon技术方案多样。主要分歧在隧穿层及多晶硅镀膜工艺上有所区别，目前的主流工艺是LPCVD+磷扩；PECVD工艺优势明显，目前正处于产业化验证期；PVD法主要
使用不同的镀膜方法进行制备。主要方法可分为 物理气相沉积
PVD、化学气相沉积 CVD、原子层沉积 ALD。在光伏行业中应用 较多的包括 PECVD, ALD, LPCVD, PVD 等技术
用于
TOPcon 和 P-IBC 技术。PVD(物理气象沉积):在真空条件下，采用大电流的电弧放电技术，利用气体
放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被 蒸发
光伏企业的钙钛矿电池蒸镀设备项目。据了解，经过不懈的努力，捷佳伟创积极稳健推进钙钛矿及叠层电池整线装备的研发及升级，公司持续深入开发并获得了狭缝涂布、PVD/RPD、蒸发镀膜等设备订单，有力协助了大量知名
