PVD

单晶硅，另外主要设备PECVD及PVD均需重新采购，庆幸的是，这两种重要设备目前均能在本土制造，与过去多晶硅的生产设备均由欧美制造完全

，虽然每瓦的成本较多晶硅高，主要原因是制造HIT电池是使用单晶硅，另外主要设备PECVD及PVD均需重新采购，庆幸的是，这两种重要设备目前均能在本土制造，与过去多晶硅的生产设备均由欧美制造完全
代工厂商指定使用日本之生产设备，即如当年德国以政府补助之方法来购买太阳能电池，但要求台湾厂商使用德国生产之设备，并且要求以其检验之标准来验收，如此将无法藉此扶持台湾本土的PECVD及PVD设备产业

Amber 物理气相沉积（PVD）系统，突破了连接芯片上数十亿晶体管电路的互连技术极限。该系统采用了革命性的铜回流技术，是唯一被证明能够在1X纳米技术节点无空隙填充铜结构的单腔体解决方案，它曾是先进逻辑和
节点以下互连的微缩，又能保持良好的产品成品率。应用材料公司通过能够在几乎任何器件技术节点上实现快速、无空隙互连结构填充的独特系统拓展了其业界领先的PVD技术。客户对该设备产生了巨大的反响，有30多个

SIMvzw的分公司Flamac表示他们将同imec合作开发光伏电池应用的新型半导体材料。此次合作生产的是标准CIGS光伏电池的替代材料。Flamac将继续改进PVD/PE-CVD镀膜技术，能自动
处理不同的薄膜材料。该技术有8个工艺室，据说更适合研究PVD和PE-CVD喷涂工艺。Imec负责继续研究光伏电池，目的是改进效率和不同技术的生产能力，包括硅基光伏电池和薄膜光伏电池。Imec的能源项目

，科林研发(LamResearch)也迅速购并诺发(Novellus)，先后创下近5年来设备业两大购并案；业界分析，科林之前发展CVD(ChemicalVaporDeposition)和PVD
。业界进一步分析，诺发的强项是太阳能薄膜电池设备CVD化学气相沉积制程和太阳能薄膜制备设备PVD物理气相沉积制程，科林之前一直要自己开发CVD和PVD技术，但并结果并未如预期顺利，因此直接买下诺发是

厂家的突出特点，那就是汉能收购铂阳以后，汉能拥有设备制造的独立知识产权。如从PECVD到PVD这些设备，从设计到制造都已经实现国产化，在北京就可以制造非晶锗硅电池的核心设备PECVD、PVD，而且从图纸

PVD or PECVD technology, and which have been developed on a customer-specific basis, are appropriate

升华法、电沉积法、PVD、CVD、丝网印刷、溅射等，规模化生产应用比较成熟的技术是近空间升华法。当然因为这种电池所用的关键材料为Te和Cd而备受业界质疑。Te的储量有限，Cd是剧毒材料，二者形成

W。这类电池的吸收层即CdTe薄膜的性能至关重要，其制备方法有近空间升华法、电沉积法、PVD、CVD、丝网印刷、溅射等，规模化生产应用比较成熟的技术是近空间升华法。当然因为这种电池所用的关键材料为Te和Cd

日，笔者第一次走进了应用材料西安研发中心园区。在这里有集成电路设备“居住”的洁净室，CMP、PVD等设备的最后阶段研发与客户培训都可以在这里进行，据介绍应用材料公司最新PVD设备第5阶段的研发完成工作