PVD
%降本空间。HJT 制作工艺流程大幅简化，制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO 薄膜沉积、电极金属化四个步骤，分别对应的制绒清洗、PECVD、PVD/RPD、丝印/电镀四道工艺设备。随着迈为、捷佳及钧石等
与迈为开发的大产能PECVD、PVD，并结合最新的自动化智能制造技术，实现对单硅片的全制程数据追踪与工艺自控制，做到业界更先进、更智能、转化效率更高的太阳能电池生产线，并在GW级的生产上得到验证。双方
华晟开发的单面微晶和双面微晶工艺与迈为开发的大产能PECVD、PVD，并结合最新的自动化智能制造技术，实现对单硅片的全制程数据追踪与工艺自控制，做到业界更先进、更智能、转化效率更高的太阳能电池
、非晶硅薄膜沉积、TCO薄膜沉积、电极金属化四个步骤，分别对应制绒清洗、PECVD、PVD/RPD、丝印/电镀四道设备。目前国内试产及量产线基本实现了HJT设备的国产化替代，尤其通威股份1GW异质结
、PVD/RPD、丝印/电镀四道工艺设备。随着迈为、捷佳及钧石等国内设备厂商积极推进HJT整线设备产业化，带动核心设备价格持续下降，Solarzoom预计2022年设备成本有望降至3亿元/GW以内，折旧
设备分别为清洗制绒设备、PECVD设备、PVD/RPD设备、丝网印刷设备,在设备投资额占比分别约10%、50%、25%和15%。
1)制绒设备：主要是利用化学制剂对硅片进行清洗和表面结构化，核心设备
Cat-CVD理论上可在热丝两侧同时沉积，生产速度更快。
3)TCO薄膜设备-PVD/RPD：技术壁垒低于PECVD，主要包括RPD和PVD两种的技术路径设备。目前主流技术路线是用PVD(物理气相沉淀)，相较于
规模量产，也具有重要意义。 金石能源是全球最早进行异质结电池装备研发的企业之一，公司具备先进制程能力、工程量产能力和装备开发能力三位一体的核心竞争力，拥有PECVD和PVD等核心设备自主知识产权
转换效率 靶材的选择决定了薄膜的光电特性，进而影响电池转换效率。目前TCO镀膜主要采用PVD或RPD技术，PVD主要采用ITO和SCOT靶材，目前ITO靶材已较为成熟，ITO的锡含量越低，电池转换效率
设备、PVD设备、整线集成及交钥匙服务，目前已有异质结客户12家，通过验收客户9家。 理想万里晖始终致力于光伏异质结设备的国产替代和降本增效，助力光伏产业蓬勃发展。
上利用其自主研发的电镀工艺光电转换效率达到25.54%，创造了新的世界纪录。 此次纪录电池片由迈为股份提供蓝膜片全部工艺制程(含制绒清洗、CVD、PVD等)，由SunDrive完成
