PVD设备
DKSH是一家在市场拓展服务领域重点面向亚洲地区的顶尖公司，Oerlikon Systems则是一家在全球范围内为半导体、数据存储、奈米技术及光伏产业提供生产设备的供货商，这两家公司将通力协作
提供服务与支持。」 DKSH科技事业单位执行副总裁Luke Mitchell表示，「Oerlikon Systems的设备为我们提供了已得到证明的独有创新性技术。现在我们可以为我方台湾及
积)设备，薄膜太阳能电池生产线中的PECVD、PVD(离子镀膜)设备等。在集成电路、平板显示器件和太阳能电池三种制造设备中，国产太阳能电池设备是其中发展最快和最好的。据有关行业协会统计，2008年中
设备PECVD及工艺技术 自主开发关键设备PVD的工艺技术 光伏电池生产工艺需求及系统的优化设计 所有设备的工艺过程全自动化 标准生产线年产能 30 MW（可分阶段实现） 非晶硅薄膜单结
工艺技术·自主开发关键设备PVD的工艺技术·光伏电池生产工艺需求及系统的优化设计·所有设备的工艺过程全自动化·标准生产线年产能 30 MW（可分阶段实现）·非晶硅薄膜单结光伏电池光电转换效率 ≥ 6%（可
淀积)设备，薄膜太阳能电池生产线中的PECVD、PVD（离子镀膜）设备等。在集成电路、平板显示器件和太阳能电池三种制造设备中，国产太阳能电池设备是其中发展最快和最好的。据有关行业协会统计，2008年
PVD系统，以及用于丝网印刷、边缘隔离、测试和分类的Applied Baccini Soft Line一体化整合系统。
应用材料公司是全球领先的纳米制造技术厂商。公司广泛的产品包括创新的设备、服务和
网管理系统等多项先进的关键技术。同市场上竞争对手的系统相比， MaxEdge大幅提升了硅片产量和荷载能力，并大大降低了每兆瓦产出的设备占地面积和所需操作人员数量。
硅片越薄，每一片使用的硅原料就越
200/300mm集群系统Versalis fxP，将刻蚀、CVD、PVD系统整合在同一工艺平台，提供一站式解决方案。
据AVIZA公司PVD/CVD/刻蚀事业部营销副总裁David
Butler介绍，对于TSV研发和试产，理想的方案是拥有完成TSV所需的四大独立关键工艺步骤的成套整合工具：TSV刻蚀、CVD 衬垫、衬垫刻蚀及PVD，由于能够在一个平台上将这些工艺无缝地转移到生产环境中
美国商业资讯2008年6月12日新罕布什尔州梅里麦克消息——太阳能产业专业设备和技术的全球供应商GT太阳能国际公司（GT Solar International）今天宣布，公司董事会新添
每个人的共事。” Fusen E. Chen博士现年49岁，之前担任半导体行业高级加工设备供应商Novellus Systems公司的执行副总裁兼首席技术官。在其目前的职位上，Chen博士将负责
得到大量应用，全球电子工业气体需求也将随之激增。 总部设在美国加州圣何塞市的半导体设备和材料协会（SEMI）预测，全球光伏市场将从2007年的130亿美元增长到2012年的超过400亿美元。美国市场
研究公司弗里多尼亚集团称，全球工业气体市场2005年达410亿美元，预计2010年将达510亿美元。 电子工业气体主要用于薄膜沉积，如化学气相沉积（CVD）或物理气相沉积（PVD法），这些技术主要
激增。 总部设在美国加州圣何塞市的半导体设备和材料协会（SEMI）预测，全球光伏市场将从2007年的130亿美元增长到2012年的超过400亿美元。美国市场研究公司弗里多尼亚集团称，全球工业气体
市场2005年达410亿美元，预计2010年将达510亿美元。 电子工业气体主要用于薄膜沉积，如化学气相沉积（CVD）或物理气相沉积（PVD法），这些技术主要用来制造半导体或光伏电池。三氟化
