PVD设备

，虽然每瓦的成本较多晶硅高，主要原因是制造HIT电池是使用单晶硅，另外主要设备PECVD及PVD均需重新采购，庆幸的是，这两种重要设备目前均能在本土制造，与过去多晶硅的生产设备均由欧美制造完全

节点以下互连的微缩，又能保持良好的产品成品率。应用材料公司通过能够在几乎任何器件技术节点上实现快速、无空隙互连结构填充的独特系统拓展了其业界领先的PVD技术。客户对该设备产生了巨大的反响，有30多个
　　 关键连线子晶层的革命性沉积方法没有可预见的技术节点限制　　 领先芯片制造商的优选设备，已向客户交付30多个腔体2012年7月11日，应用材料公司于今天推出了Applied Endura

，科林研发(LamResearch)也迅速购并诺发(Novellus)，先后创下近5年来设备业两大购并案；业界分析，科林之前发展CVD(ChemicalVaporDeposition)和PVD
。业界进一步分析，诺发的强项是太阳能薄膜电池设备CVD化学气相沉积制程和太阳能薄膜制备设备PVD物理气相沉积制程，科林之前一直要自己开发CVD和PVD技术，但并结果并未如预期顺利，因此直接买下诺发是

厂家的突出特点，那就是汉能收购铂阳以后，汉能拥有设备制造的独立知识产权。如从PECVD到PVD这些设备，从设计到制造都已经实现国产化，在北京就可以制造非晶锗硅电池的核心设备PECVD、PVD，而且从图纸

。这家全球领先的技术和设备供应商以最先进的生产系统及相应的升级和改造措施来快速响应来自客户的这些需求。Solar Cell & Module product updat"We are on the way
PVD or PECVD technology, and which have been developed on a customer-specific basis, are appropriate

结构来替代贵材料和毒材料,尤其是化合物薄膜电池，关键精密设备与工艺的集成度有待深入研究开发。薄膜太阳能电池产量创下新纪录近些年太阳能光伏发电技术发展迅猛，过去10年间世界光伏电池和组件的产量年增幅大于
薄膜太阳能电池，量产化成功的案例是日本的SolarFrontier(前身是Showa Shell)，技术和设备是自主开发的。其CIGS薄膜的技术路线是溅射加后硒化处理，核心就是后硒化处理。由于硒化过程采用

材料,尤其是化合物薄膜电池，关键精密设备与工艺的集成度有待深入研究开发。薄膜太阳能电池产量创下新纪录近些年太阳能光伏发电技术发展迅猛，过去10年间世界光伏电池和组件的产量年增幅大于35%。根据
功的案例是日本的SolarFrontier(前身是Showa Shell)，技术和设备是自主开发的。其CIGS薄膜的技术路线是溅射加后硒化处理，核心就是后硒化处理。由于硒化过程采用有毒气体，硒化设备的

日，笔者第一次走进了应用材料西安研发中心园区。在这里有集成电路设备“居住”的洁净室，CMP、PVD等设备的最后阶段研发与客户培训都可以在这里进行，据介绍应用材料公司最新PVD设备第5阶段的研发完成工作

。此外，泵组也可以水平安装，从而可以显著地降低系统的高度。 由于新品研发和试生产的需要，著名的UNIVEX系列PVD真空镀膜系统提供给客户多种腔室容积的外形选择，包括不锈钢钟罩型、箱型和团簇型
/leyboldvacuum欧瑞康公司简介 欧瑞康（瑞士证交所代号：OERL）是全球领先的高科技集团公司，致力于机器设备和系统工程。公司为纺织、薄膜涂层、传动系统、真空、太阳能以及先进的纳米技术领域提供创新性的

开发阶段就可以优先考虑客户和市场的需求。 “代工模式为半导体芯片制造带来了便利，但是对于绝大多数foundry来说，设备一旦选定并投入量产，就很难再轻易变更，这主要是出于工艺稳定连续性和成本的考量
。”Steve Lerner说，“但是技术总是在不停进步的，制造工艺和设备都面临新陈代谢的过程。如果客户对于新兴技术的了解和涉足都更为深入的话，接受度也会增强。这就是为什么我们会在研发阶段就把潜在客户