PVD设备

;PECVD 制备多晶硅膜并原位掺杂工艺;PVD 制备多晶硅膜并原位掺杂工艺其中 LPCVD 技术工艺成熟且已实现量产，并且设备国产化完善，但绕镀、成膜速度慢等仍为目前工艺主要问题。 LPCVD
、靶材国产化、设备降本来实现。 3.IBC电池 IBC是指交叉指式背接触电池技术，将P/N结、基底与发射区的接触电极以交指形状做在电池背面。IBC电池拥有高转换效率，外观上也更加美观，尤其适用于

，TOPCon产线为2.2亿/GW，两者已经非常接近。新上PERC产线一般都预留了TOPCon升级空间。业内人士介绍，每GWPERC升级TOPCon工艺路线的设备成本在5-6千万左右。 从电池制备
环节看，TOPCon相比PERC增加/替换的主要设备为B扩散、隧穿氧化层及poly Si沉积设备，其余环节基本与PERC产线兼容。光伏设备专家介绍，老旧PERC产能改扩建TOPCon，可采用管式

了大产能、连续镀膜PECVD设备、PVD设备等，实现了异质结高效太阳能电池生产线的国产化，并且达成了异质结整线设备的首次出口。今后，迈为将继续以自主研发与技术创新不断推动异质结高效电池制造整体解决方案的升级与迭代，助力全球异质结产业快速、健康地发展。

太阳电池的新的世界记录，对未来进一步降低HJT电池成本具有重要意义。中科院电工所王光红也报道了掺氢TCO薄膜方面的研究进展。中科院电工所与国电投公司合作研究了使用RPD和PVD对于ICO的研究结果s
。 南昌大学的黄海滨教授介绍了其制备的国产热丝CVD设备，用来制备HJT电池，效率达到了24.7%，处于国内领先水平。 中科院上海微系统所报道了其在非晶硅氧层对HJT电池的改性的影响。揭示了低掺氧i层

区、辅助动力区、辅助办公区。采用激光切割机、制绒清洗机、PECVD、PVD、丝网印刷机等设备进行新型高效电池中试与研究开发，新型高效电池预计产能1200MW，配套建设辅助工程(动力站、特气站、酸库及碱库等
系数低、双面率高、弱光效应好等优点。从设备上看，异质结(业内称HJT)主要生产工序涉及的专业设备，有清洗制绒机、PECVD、PVD、丝网印刷机等。

4月10日，湖南红太阳光电科技有限公司研制的210大尺寸微晶异质结PECVD设备正式发往某客户工厂，这是公司继2021年4月发布大产能异质结专用PVD设备后，又一新的里程碑，标志着公司在异质结领域
CVD+PVD双核牵引战略布局实现重大突破。 在国家光伏装备工程技术研究中心平台的支撑下，公司一直致力于异质结PECVD设备研发，近两年时间先后推出了第一代原理机，第二代准量产机及本次的第三代量产

2022年4月10日，湖南红太阳光电科技有限公司(下文简称：红太阳)研制的210大尺寸微晶异质结PECVD设备正式发往某客户工厂，这是红太阳继2021年4月发布大产能异质结专用PVD设备后，又一新的