ALD设备
新增订单的2.96倍。其中，半导体领域新增订单是去年同期新增订单的3.29倍，光伏领域新增订单是去年同期新增订单的2.92倍。微导纳米指出，半导体领域，在保持核心产品ALD设备销售领先优势的同时，公司
逐步落地，2024年公司产品的工艺覆盖面、客户数量和订单规模将继续保持增长。光伏领域，公司ALD设备的市场占有率继续保持领先，产品矩阵不断丰富，为客户提供具有竞争力的ALD、PECVD、PEALD
式PECVD、管式LPCVD、管式PEALD、管式ALD、管式Diff/Oxide/Anneal。板式设备：板式PECVD、板式Cat-CVD、板式RPD、板式PVD、板式PAR、板式ME。(PPT
%，一年内实现了1.5%绝对效率的推升。目前，捷佳伟创可以全面布局提供给客户持续性发展的设备需求，其中创新五合一钙钛矿电池镀膜装备，可以降低设备面积需求、降低设备投资，以及完成多层膜叠加，进一步推升
控制设计，划线精度和重复性可满足各类电阻及成膜工艺的需求。为了辅助钙钛矿结晶，开发设计了真空闪蒸设备及工艺，相比于风道，可实现更好的制备性，获得致密、结晶良好的钙钛矿薄膜。ALD设备体积紧凑，配置单元
的高新技术企业，长期以来深入光伏新能源产业，聚焦高效太阳能电池核心技术研发，实现多元领域创新突破，在钙钛矿光伏技术领域取得丰硕成果，成功自主研制推出钙钛矿电池设备-空间域ALD覆盖从实验室研发到GW级
量产设备完整系列。机台产品兼容各种尺寸玻璃和硅片，原子层沉积氧化锡、氧化铝、氧化锌铝工艺成熟，镀膜速率高，对钙钛矿层无损伤，多台设备已成功获国内钙钛矿电池头部企业使用和验证。
引领者，是行业内产品线齐全的公司之一，面向制造业设备商、系统集成商及终端用户，提供机器视觉部件、智能视觉传感器、智能视觉装备等产品，提供基于视觉的数字化及智能化一站式服务。目前产品及解决方案已广泛应用
，2008年起开始探索光伏产业相关产学研成果在行业内的应用场景，主要从事光伏行业组件、电池片、电池串、光伏电站的自动化检测设备和AI视觉检测系统的研发、生产和销售。2021年7月被评为国家级专精特新“小
Al2O3钝化层工艺，使用2.2.1节优化的TLS工艺进行正面切割。使用牛津仪器的“FlexAl”设备进行ALD工艺，使用三甲基铝和水蒸气作为前驱体，工艺腔1炉最多处理48个叠瓦电池，样品堆叠成四堆
边缘钝化的新工艺，
TLS与LSMC相对比，根据TOPCon电池结构对TLS工艺进行优化。TLS使用3D-Micromac生产的“microDICE”设备优化TOPCon电池切割工艺，最后使用
内。▶ 理想晶延半导体设备(上海)股份有限公司 王俊博士在钙钛矿设备中，ALD的优势在于是膜层致密性好，可以精准控制纳米级膜层的生长;保型性较好，在复杂结构上也可以很好地维持基底形状;薄层特性适合
大面积生长。其中，空间型的ALD设备制造，其主要特点是成膜速率较快，适合大尺寸膜层生长，且速度较快，适合量产。理想晶延致力于高端设备的国产化的研发、制造和生产，从设备研发到量产环节，提供了完整的设备生产及
事业部CTO廖宝臣作《ALD工艺设备在钙钛矿电池技术中的应用与展望》的报告，廖总对钙钛矿叠层电池设备的研发情况进行详细介绍，其中重点介绍了ALD在钙钛矿叠层电池中的应用以及ALD设备技术研发进展情况
：装备助力钙钛矿与叠层电池产业发展捷佳伟创 陈麒麟（博士）报告13：空间域ALD设备在钙钛矿/叠层电池中的应用理想晶延 王俊（博士）报告14：光伏装备的气动国产化进程EMC电气 商学院院长兼战略大客户总监
为推动光伏制造工艺及设备技术交流与发展，共同探讨行业降本增效解决方案，国家光伏装备工程技术研究中心与索比光伏网将于2023年12月21日联合主办“2023光伏装备技术创新大会”。本次会议将以
)没有可见的电极从而减少了遮光损失，3)降低了汇流的电阻损失。叠瓦最初仅应用于小众市场，如卫星设备、电子设备和电动汽车。叠瓦太阳能电池的潜力不仅在出版物和专利中发表和发布，也在商业叠瓦组件中暂露头角
AlOx薄膜并进行薄膜沉积后退火(PDA)以激活沉积的AlOx钝化层。采用热原子层沉积方法(ALD)沉积AlOx，ALD沉积有以下几个优点：(I)ALD保形性好，例如，经过处理后电池的边缘被AlOx很好地包
