ALD技术
需要使用不同的镀膜方法进行制备。主要方法可分为 物理气相沉积 PVD、化学气相沉积 CVD、原子层沉积 ALD。在光伏行业中应用 较多的包括 PECVD, ALD, LPCVD, PVD 等技术
, TOPcon, HJT, P-IBC 电池技术中均有应 用。ALD(原子层沉积):通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应器并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜的一种方法。主要用于制备氧化铝膜层，应用于
和 ALD AlOx+SiNx 等方法。其中 PECVD沉积技术 2021 年市场占比在 55.4%左右;ALD 沉积技术有更精确的层厚控制和更好的钝化效果，2021 年市场占比约 41.4%。除
近日，南京大学现代工程与应用科学学院谭海仁教授课题组，运用涂布印刷、真空沉积等量产化技术，在国际上首次实现了全钙钛矿叠层光伏组件的制备，开辟了大面积钙钛矿叠层电池的量产化、商业化的全新路径。
经国
。
尽管业界在常规带隙钙钛矿的规模化制备上已经取得了较大进展，但这些制备技术很难适用于宽带隙钙钛矿。宽带隙钙钛矿中含有较高的溴化物组分，其溶解度较低，溶剂选择空间较小，结晶调控不易，难以获得高质量均匀致密
设计思路;微导廖宝臣的报告介绍了ALD技术的最新进展并展望了其应用;南航高凯的报告提出了辐射散热的新思路;811所马聚沙的原子氧防护对地面光伏组件抗老化有借鉴意义。 第五分会场：光伏系统及并网技术
均属于行业领先。 无锡尚德高效TOPCon光伏电池整线智能工厂采用了行业领先的基于工业互联网技术的数字化智能工厂解决方案、基于ALD原子层沉积镀膜技术、丝网印刷技术的TOPCon交钥匙整线智能设备和
导的业务涵盖新能源、柔性电子、半导体和纳米技术等工业领域。 微导总部设在江苏无锡，由精英企业家和技术专家团队共同创立。微导的核心技术是先进的原子层沉积(ALD)和反应离子刻蚀(RIE)装备, 并为
、智能风电机组和高效直驱发电机技术研究开发。 太阳能装备将以提高效率、升级换代为重点，突破大型高效还原炉、大尺寸单晶炉技术;提升背钝化ALD设备、高产能PECVD设备、高效TOPCon和HJT电池
整线供应能力的公司，而且从已验证数据来看，公司在TOPCon电池生产的转换效率及良率等方面均全面处于行业领先地位。十余年来，公司在硼扩散、ALD、PE-ALD、LPCVD及管式PECVD-Poly、管式
PECVD-HIT设备积极布局，通过深厚技术积累及创新型的研发，实现了捷佳伟创PECVD在TOPCon电池制造工艺的有效突破。
该技术核心方案完美实现了隧穿层、Poly层、原位掺杂层的三合一制备
创新能力，成为行业中提供TOPCon核心工艺设备和整体解决方案的领军企业，助力双碳时代太阳能电池技术的革新。
夸父系列KF15000原子层沉积(ALD)系统
TOPCon电池具有
夸父系列ALD钝化膜, 祝融系列PEALD隧穿氧化膜以及原位掺杂多晶硅膜，羲和系列硼扩，退火等关键工艺技术在内的全核心装备TOPCon产线整体解决方案，可以强有力的保障电池生产线对效率和良率的追求
工艺设备。 江苏微导：采用适用于 TOPCon 技术的 ALD 设备，已进入量产阶段 1) 夸父系列原子层沉积镀膜系统(ALD)：采用自主知识产权的反应腔体设计和先进的 薄膜沉积技术,确保为晶硅
