ALD技术

精度，机台的稳定性都提出了新的要求。随着钙钛矿效率的提升，以及将来叠层技术的导入，钙钛矿，它对于设备的需求会越来越像半导体行业，会越来越贴近半导体行业。就像 ALD这样的这种精细的手段，在钙钛矿
它的效率往上带的就是钙钛矿技术。只有钙钛矿能和它叠层，把效率带到 30%以上。可以非常明确就是晶硅行业或者整个光伏行业想要把效率往上提，就必须靠钙钛矿，这是我们现在仅有的选择，没有别的选择，所以

方式，优点是成本低、设备兼容度高、原料利用率高，但大面积均匀性不易控制、对基底平整度要求高。真空镀膜是在大面积均匀性、基底平整度要求等方面有优势的竞争技术路线，但目前面临料利用率较低、成本高、生产
需求。根据不同的钝化层材料方案，初步来看大面积选用涂布机制备钝化层;若用盐类材料做修饰层则可能选用蒸镀设备;若用金属氧化物则可能选用RPD或者ALD设备。另一方面，传输层真空镀膜路线亦有诸多变种。背电极

有限公司(简称“微导纳米”)成立于2015 年12 月，是一家面向全球的高端设备制造商。公司以原子层沉积(ALD)技术为核心，专注于先进微米级、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产与应用。公司业务涵盖集成电路
位光伏领袖就“智能制造与高效技术、新型产业供应链生态、海外市场拓展与挑战应对”等关键话题，分享行业心得与经营智慧。其中，江苏微导纳米科技股份有限公司凭借强大创新力、出色的品质与服务、卓越的品牌影响力

近日，微导纳米(688147)在接受调研时表示，公司的PEALD/PECVD二合一设备在TOPCon背面薄膜制备中具有技术优势。公司依靠PEALD技术实现了对隧穿层的精准控制，并保证其均匀性，能够
满足隧穿氧化层工艺所需各项苛刻的需求，同时公司已通过调整硅片表面及膜层等方式成功掌握了原位掺杂多晶硅层PECVD量产技术。公司积极响应下游厂商XBC电池结构的开发和优化需求，并根据下游厂商在HJT电池

于2015 年12 月，是一家面向全球的高端设备制造商。公司以原子层沉积(ALD)技术为核心，专注于先进微米级、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产与应用。公司业务涵盖集成电路、光伏、LED、MEMS 等
、双玻、半片、MBB、叠瓦等不同组件产品需求，同时也为光伏电池、硅片制造等领域提供相关智能装备以及软件系统。晟成光伏凭借着先进的技术、高效的产品以及优质的服务，在行业内树立了良好的口碑和品牌形象。公司

全自动ALD钝化设备及PE-Poly设备，合同金额总计人民币45,180.00万元整(含13%增值税)，占公司2021年度经审计营业收入的105.58%。2023年7月30日前，将全部设备交至四川省眉山市
证明了公司设备产品的技术领先优势。2019-2021 年公司向通威太阳能及其关联方销售产品的金额分别为0.44/1.97/1.20 亿元，此次合同金额超4.5 亿，是公司在光伏电池片领域的又一大突破，将极大提高公司的市场影响力和技术路线的认可度。具体公告见下：

制造商。公司以原子层沉积(ALD)技术为核心，专注于先进微米级、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产与应用。公司业务涵盖集成电路、光伏、LED、MEMS 等半导体相关领域，以及新能源和柔性电子领域
;主要产品为应用于逻辑芯片、存储芯片、硅基微显示和3D 封装等半导体及泛半导体ALD 设备和技术，以及应用于柔性电子、新一代高效太阳能电池的薄膜设备和量产解决方案。2019年-2021年，微导纳米分别实现

成本）等问题，因此PECVD、PEALD等技术路线有望“后来居上”。 | 聚焦ALD技术自2015年成立以来，微导纳米始终聚焦于原子层沉积（ALD）技术，并先后研发出ALD、PEALD二合一、PECVD等