ALD技术

点击此处下载报告PPT 技术总结： 面对高效PERC电池市场的渐激烈竞争，ALD原子层沉积技术以其优异的钝化效果、稳定的量产性能，近年在高效PERC电池生产取得了飞速的发展，并且在当前多种
技术路线中生产成本最低，在高效PERC电池量产发挥出重大作用。

沉积设备(PECVD 设备或 ALD 设备)和激光开槽设备即 可。 PERC 核心产品为 PECVD 设备、丝网印刷等。其中，捷佳伟创的核心产品 PECVD 设备和扩散炉均为自主研发，采用的核心技术
电池片 2.5 代：PERC+将接棒单晶替代多晶的历史使命 以转换效率为轴看光伏技术发展，如果说 BSF 电池为 1 代电池、PERC 单晶为 2 代电池，则我们正处 PERC+的 2.5 代电

设备(ALD) 来源：重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品目录(2018年修订) 对比往年的免税清单，一直处于缺失待定状态的太阳能发电设备终于名花有主，光热发电设备首次上榜录，19个一级
光伏太阳能电池生产设备。近三年来(2017-2019)，光伏零部件、原材料项目数减少了5成。 2018年，随着市场需求的变化和工艺的成熟，ALD技术优势和性价比得到设备商们的认同，开始成为光伏设备端

PERC升级。 技术路线与增加装备系统介绍。PERC的具体实现路径上，主要有PECVD(等离子增强化学气相沉积)、ALD(原子层沉积)两种路线，还有一种可理解
PERC光伏电池在2016-2017年开始规模化推广，技术、工艺、供应链都更成熟。目前，PERC电池较规电池的经济性已非常明显，2018年PERC电池特别是单晶PERC在高速发展，但受5.31

%。 (2)ALD技术引用，进一步降低非硅成本 钝化技术中，ALD技术性价比更高：背钝化材料中，氧化铝是目前市场首选。而影响背面钝化成本的两个核心因素是氧化铝膜厚度和TMA使用量。而相比于

，行政法法官没有对215专利条款作出正确解释。作为一家企业，我们尊重法官的初步裁决，然而我们同时打算立即向国际贸易委员会就即将做出的裁决提出上诉。同时韩华再次重申，对于公司专利技术受到侵犯的最终裁决的
(Rec Group)，并向美国国际贸易委员会以及美国特拉华州地方法院起诉上述三家竞争对手，认为这些企业对其存在专利侵权行为。 韩华新能源称其竞争对手利用其专利的钝化技术来提高太阳能电池的效率和性能

隆隆，但是除了协鑫外，小编暂时还没有听说还有哪家硅片企业开始了量产，那么铸造单晶的难点在哪呢? 一、铸造单晶的背景 铸造单晶技术不是一个新鲜技术，早在二十年前GTsolar公司为了开发铸造单晶技术

双面掺杂层等方面还面临一些挑战。 PERC电池衰减问题如何解决? 效率衰减一直是单晶PERC电池产品亟待解决的问题，量产技术的成熟度和性价比则是决定电池技术量产效率的关键。 ALD 三氧化二铝薄膜

2019中国国际光伏技术论坛(CITPV)在杭州举行。在电池结构及制备工艺的分论坛上，江苏微导纳米装备科技有限公司CTO黎微明指出，ALD正逐步取代PECVD成为主流钝化技术，降低了PERC生产成本

， 尤其是采用微导专利的ALD镀膜技术，PERC电池在抗LeTID的性能上具有显著的提升作用。有意思的是，这个结果是和现有PERC电池采用PECVD背钝化工艺相比较下得到的。他们通过对下面的实验结果进行对比
得出结论，ALD和PECVD镀膜技术在降低LeTID衰减中的有着明显不同的表现。根据新南威尔士大学的分析，其原因在于ALD 三氧化二铝薄膜具有高质量，致密无针孔的特性，可以有效阻挡氮化硅薄膜中的