200mm,逐渐向300mm过渡,研制水平达到400mm~450mm。据统计,200mm硅片的全球用量占60%左右,150mm占20%左右,其余占20%左右。Gartner发布的对硅片需求的5年预测表明
据EE Times网站报道,Gartner分析指出,下一代450mm晶圆工厂可能成为现实,但不如有些厂商预想的那样快速。 据报道,英特尔、台积电和三星分别在推进450mm工厂,并预计在
2012年前完成。有些厂商认为450mm永远都不可能实现,因为研发成本实在太高。 Gartner分析师Dean Freeman指出,如果450mm出现,首个量产工厂可能会使用8nm或5nm工艺,时间
日本Covalent Materials(原东芝陶瓷)在近日于东京都内举行的该公司的技术展上展出了直径460mm的单晶硅硅锭。除用作300mm晶圆装置的内部部件外,将来还考虑用于450mm晶圆
400mm。利用上述材料培育起来的大口径硅锭的生长技术是实现450mm晶圆的重要基础技术。 今后要实现450mm晶圆,还需要进一步减少硅锭内的杂质以及结晶缺陷。该公司计划利用各种模拟技术来优化