高纯石英

主要途径和手段之一，展露出较大的发展潜力。四川是全国多晶硅产业化生产的发源地，已形成包括高纯多晶硅制造、硅锭/硅片生产、太阳能电池制造、光伏组件以及系统应用等环节比较完整的产业链，在发展太阳能光伏
和冶金法等。改良西门子法利用氯气和氢气合成氯化氢，氯化氢和工业硅粉在在250－350℃的温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行化学气相沉积反应得到高纯

等方面成就卓著。去年取得的研发成果-物理法制备高纯多晶硅及加工多晶硅片，通过了江苏省经济和信息化委员会组织的专家鉴定，获得了科学成果技术鉴定证书。目前，一期工程首个铸锭车间20台铸锭炉已投入运行，设备
培育基地。全县共有投资过亿元硅材料企业10多家，全国最大的太阳能电池生产商晶澳太阳能有限公司、亚洲最大的石英玻璃管生产企业东海太平洋石英制造有限公司以及中材高新、沃鑫硅材料等一批高科技含量、高附加值

产业 四氯化硅制备白炭黑技术及市场分析 四氯化硅在有机硅行业的研发应用 四氯化硅制备高纯石英技术解析及下游市场分析18

和未来的发展方向，并介绍了晶龙集团及下属公司的发展情况。 　　研讨会由中国电子材料行业协会（CEMIA）主办，旨在促进我国高纯石墨材料、炭-炭纤维复合材料、高纯石英材料关键配套材料生产企业之间技术

、品位高、规模大等特点。石英资源，就是其中的一种。 市经贸局局长张志纯在《河源发展太阳能光伏产业大有可为》一文中，曾自豪地说，河源拥有丰富的石英资源优势，是华南地区的“石英宝库”，初步估算

坩埚需求量大增。石英坩埚是生产太阳能电池原料过程中的一种器具，长期以来，高纯石英坩埚生产技术均被美国、法国等发达国家垄断。我国太阳能电池生产企业只能主要依靠进口满足需求，不仅花费大量外汇，而且时常得不到

积极的推动作用。 　　以顺大电子材料科技有限公司为代表，采用了改良西门子法生产高纯多晶硅，并对一些关键技术和工艺进行自主开发和创新，许多领域都填补了国内空白，多晶硅制备技术、工艺和产品质量达到国内
产业链条。现有重点企业28家、在建企业13家、确认拟建企业8家。2009年高纯硅产量达1500吨以上；多晶硅锭和多晶硅切片产能分别达2000吨/年和2亿片/年；单晶硅棒喝单晶硅片产能分别达到1900吨/年

Material公司还开发了磁控溅射PECVD系统，该系统使用磁控溅射源轰击高纯硅靶，在氨气的气氛中反应溅射，形成SiNx分子沉积到样品表面。这种技术的优点是不使用易爆的硅烷气，安全性提高很多，另外沉积
不是电极的一部分。 直接法又分成两种： 　　（1）管式PECVD系统：即使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以放置多片硅片的石墨舟插进石英管中进行沉积。这种设备的

先进高纯硅生产工艺和设备基础上，加快消化吸收提升改良西门子工艺技术，掌握和完善还原炉、氢化系统和尾气干法回收系统及全过程自动控制等关键技术。开发冶金法制备多晶硅材料、高纯石英砂制备太阳能级多晶硅等低成本

纯硅料生产项目采用世界最先进的“西门子改良法”，这一技术将打破国际多晶硅技术垄断。江西中材太阳能高新材料有限公司是国内唯一一家掌握石英陶瓷坩埚生产技术并拥有自主知识产权的内资企业。 　　为打造
发展制高点 　　李安泽强调，为提升新余市新能源产业的国际影响力，新余正在加快技术创新体系建设。据悉，江西赛维拥有国际最先进的多晶硅片生产设备和工艺，所产硅片品质居国内同行业领先水平，正在建设并部分投产的高