以四氯化硅、氢气、氯化氢和产业硅为原料在流化床内(沸腾床)高温高压下天生三氯氢硅,将三氯氢硅再进一步歧化加氢反应天生二氯二氢硅,继而天生硅烷气。制得的硅烷气通进加有小颗粒硅粉的流化床反应炉内进行连续热
反应天生二氯二氢硅,继而天生硅烷气。 制得的硅烷气通进加有小颗粒硅粉的流化床反应炉内进行连续热分解反应,天生粒状多晶硅产品。由于在流化床反应炉内参与反应的硅表面积大,生产效率高,电耗低与本钱低
; SOLARWORLD AG
用流化床制备高纯度颗粒硅的方法
DE50204786D
2002-4-10
2005-12-8
SOLARWORLD AG (DE)
由
PETER (DE)
制备高纯度颗粒硅的方法
WO0246098
2001-11-7
2002-6-13
SOLARWORLD AG (DE); MLECZKO