靶材

研究与开发,同时投资2.1亿元对高密度ITO靶材进行产业化生产,彻底打破由国外垄断高端ITO靶材的局面；广东省凯盛太阳能科技有限公司在3年内将实现总投资30亿元,生产薄膜太阳能电池应用产品及上下游

，价格高且无保障。 　　薄膜电池的主要原材料包括玻璃(导电玻璃及其他玻璃)、EVA、靶材以及气体。薄膜电池对导电玻璃要求较高，目前国内厂商实力较弱，市场主要由日本NSG和美国AFG瓜分。随着国内薄膜
产量的爆发，很有可能出现供应紧张的格局。靶材目前的国内供应仍被国际大厂把持，德国贺利氏是全球最大的供应商，在国内市场占有率超过60%。另外，国内目前没有企业生产硅烷，而主要国际大厂扩产有限，加之LCD等

Onyx-Revolution是一款旋转柱状磁控源，主要用于太阳能电池的优化应用。采用形状经过设计优化的磁体，可以在源和衬底之间获得近似垂直的沉积，这样可延长运转周期，降低清洗要求，获得更高的成品率。等离子源的靶材利用率高达85%或更高，平均每个柱状磁控源可节约20%的成本。