靶材

是铜铟镓硒，后面可以用单质Se硒化。最后研究过程当中，有进一步认识以后，现在是四元铜铟镓硒靶材进行硒化，这里面效率有很大的提高。这个过程当中，由工艺思想的变化，必然导致工艺装备的变化，我们实验室经历了
第一代、第二代、第三代、第四代硒化炉。装备跟工艺是紧密相关的，但是装备做好了，对工艺的实现是非常重要的。那么，在这个过程当中，我们觉得有两个关键的认识，一个是铜铟镓硒四元靶材的提出，还有H2Se后处理

薄膜太阳能电池，为目前国产技术的最高水平。庄大明表示，其采用四元合金靶材一步溅射法，研制出的1cm*1cm的玻璃基底CIGS薄膜太阳能电池，转化率可以达到18.9%。不过，其表示该技术目前还在进一步测试中

2um厚并且混合成比例最佳的薄膜。台积电采用的两步法是：第一步升温将铜铟镓溅射到靶材后降温，第二步送到后硒化炉进行再升温，将铜铟镓硒四种元素再重新按最佳比例均匀混合后沉积降温。 这种工艺路线最大的缺点

的薄膜。台积电采用的两步法是：第一步升温将铜铟镓溅射到靶材后降温，第二步送到后硒化炉进行再升温，将铜铟镓硒四种元素再重新按最佳比例均匀混合后沉积降温。这种工艺路线最大的缺点是电子物理结构不断升温降温

　　围绕重点行业转型升级和新一代信息技术、智能制造、增材制造、新材料、生物医药等领域创新发展的重大共性需求，形成一批制造业创新中心（工业技术研究基地），重点开展行业基础和共性关键技术研发、成果

金：高纯度金属靶材、医用支架、贵金属材料及化合物；有研光电：晶体材料和光纤材料。5月，有研总院与赣州稀土签署的合作协议，以有研新材为主体参与到赣州稀土和钨产业整合；7月，拟出售传统主营业务硅板块资产

支出： 铜铟镓硒产业尚未达到产业化规模，所以相关的产业供应链并不完整。但产业发展过程中，随着投入者越来越多，铜铟镓硒产在中国落地后能带动产业链如玻璃、接线盒、金属原材料、靶材等的相关产业链的发展

福建铂阳精工设备有限公司决定将CIGS(铜铟镓硒)薄膜太阳能电池生产的核心技术CIG靶材研发及生产项目落户泉州，此举有望填补国内相关产业领域的空白，打破对国外进口产品的依赖。日前，市委书记黄少萍与

知名厂家的无铅低氧含量CIGS Solar Powder/Solder Powder/Nano Powder 及CIGS或TFT/LCD各类靶材。4. 美国MA公司所提供的接线盒上专用Breath

基材，使用溅射技术沉积缓冲层，一般来说是化学气相沉积技术或通过原子层沉积，而铜铟镓硒层是利用合金靶材以短周期溅射沉积，其制程改善一般硒化太阳能电池所需要的长时间。透过高速溅射技术，太阳能电池的制造周期