靶材

集成电路重大创新技术标准制修订，开展集成电路设计平台、IP核等方面的标准研究。开展靶材、电子浆料、半导体材料、高强高导铜合金等新型电子材料标准研究，研制传感器、专用电子设备等关键共性技术标准，完善新型显示
机器人、增材制造装备、智能传感与控制装备、智能检测与装配装备、智能物流与仓储装备等关键技术装备，实现工程应用和产业化，提升装备制造业智能化水平。(工业和信息化部、质检总局等按职责分工负责) 深化智能制造

，加快推进鲤城铂阳精工CIG靶材研发及生产、南安阳光中科1200MW太阳能电池、安溪晶安光电二期、泉州台商投资区辉锐纳米碳薄膜太阳能电容电极材料等光电产业重点项目建设。在扶优汰劣方面，支持技术水平

的透明导电膜层(TCO)，除了有效提升HJT电池效率1%，亦可提供客户在使用氧化铟锡(ITO)靶材镀膜之外，有更多样化TCO材料的选择，帮助进一步提升效率与降低生产成本。近年来，在以高效电池技术降低

的两步法是：第一步升温将铜铟镓溅射到靶材后降温，第二步送到后硒化炉进行再升温，将铜铟镓硒四种元素再重新按最佳比例均匀混合后沉积降温。这种工艺路线最大的缺点是电子物理结构不断升温降温，受到破坏，造成

游研发生产高效可靠的生产设备和相关的靶材、背板等原材料，通过大规模量产高效率的薄膜发电电池、组件，再与电动汽车、无人机、手机、户外用品、航天器等领域产品相结合，最终形成用供电一体化的集成终端产品。未来

下游的各种移动能源终端产品的应用，与此同时也将包含相关的储能、分布式等支撑产业。薄膜光伏企业可以利用自身在薄膜产业内的优势，从上游研发生产高效可靠的生产设备和相关的靶材、背板等原材料，通过

TiO2和无机氧化物等混合水溶液常温喷涂方法。磁控溅射法是一种高速低温的镀膜物理方法，是指在真空条件下，电子在阴极（靶材）和阳极（基底）之间电场的作用下飞向基片，此过程中与工作气体（氩气）原子发生碰撞，电离
出大量氩离子和电子，氩离子在电场的作用下以高速轰击钛靶材表面，通过动能传递，使钛靶材获得足够的动能，从而从靶表面逸出，沉积在基片上形成薄膜。该法得到的自清洁膜纯度高，与玻璃基底结合力高，膜层的厚度精确

下游的各种移动能源终端产品的应用，与此同时也将包含相关的储能、分布式等支撑产业。薄膜光伏企业可以利用自身在薄膜产业内的优势，从上游研发生产高效可靠的生产设备和相关的靶材、背板等原材料，通过

移动能源产品的应用，同时也涉及分布式发电、储能等相关辅助产业。利用上游研发生产的高效、可靠的生产设备，以及靶材、背板等原材料，可以大规模量产高效率的薄膜发电芯片、组件，再与电动汽车、无人机、手机、户外用品

、薄膜关键生产原料靶材等产品。展会期间，参加有色金属工业成就展系列会议的50余位企业代表参观了汉能总部和汉能清洁能源展示中心。 此次成就展由中国有色金属工业协会主办，国内有色金属工业领域的
铜铟镓硒组件为基础的充电包、户用系统、农用系统及薄膜关键生产原料靶材产品都受到了与会者的高度关注和热议。在看到铜铟镓硒和砷化镓的多元化应用后，参观汉能总部和清洁能源展示中心的50余名企业代表也表达了对